Edwards CTI Cryo-Torr Cryopump 9600 ヘリウム コンプレッサー、3 相、水冷、低電圧 180/230V。PN: 8135717G001

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Edwards Cryo-Torr Cryopump 9600 ヘリウム コンプレッサー、3 相、水冷式、低電圧 180/230 VAC。
Edwards 部品番号: 8135717G001 は、旧式の PN: 8135900G001 に代わるものです。

真空コーティング、半導体製造、粒子加速器、スパッタ堆積システム、分子線エピタキシーなどの分野で極低温コンプレッサーを必要とするアプリケーション、プロセス、メンテナンス エンジニア、科学者向け。9600 コンプレッサーは、特に長い使用可能寿命を実現するように設計されており、信頼性が高く、非常に使いやすい製品です。 9600 コンプレッサーは、すべての Cryo-Torr クライオポンプ、オンボード クライオポンプ、オンボード ウォーターポンプ、オンボード TurboPlus 真空ポンプで優れたパフォーマンスを発揮します。

軽量設計で、大型キャスターが付いているので扱いやすく、電源、ヘリウム、水の接続はすべて簡単にアクセスできるため、すばやく設置できます。9600 は、3 年に 1 回の推奨される吸着剤交換以外はメンテナンスを必要としません。回路保護は、背面パネルから簡単にアクセスできる 1 列のブレーカーによって提供されます。 吸着剤の交換については、マニュアルを参照してください。リモート コントロールがサポートされているため、リモート コンプレッサーの場所を柔軟に選択できます (ただし、付属していません)。非常に大容量で効率的な設計により、ポンプのパフォーマンスが向上し、再生が高速になります。このユニットは、新規および既存の CTI-Cryogenics ポンプ システムと完全に互換性があります。このユニットは、低電圧、水冷式、3 相、入力電圧 180 ~ 230 V、50/60 Hz、3 相 C シリーズ オンボード電源です。オンボード電源出力があり、標準の 1 相 (2 相) モーター オンボード、Cryo-Torr および Cryodyne ポンプを駆動します。
ユーザーおよび構成マニュアルは、PDF をダウンロードすることで提供されます。

次の Cryo-Pumps で使用できます
  • Cryo-Torr 100、7、8、8F、10

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Ideal-Vacuum-Cube-6x121416-Manual.pdf (Ideal-Vacuum-Cube-6x121416-Manual.pdf, 4,573 Kb) [ダウンロード]

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