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消音器套件的替换滤纸，适用于一些干式涡旋和干式旋转叶片真空泵

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用于干泵排气消音器套件的滤纸元件，PN P103343、P103342、P102553、A50597000
用于 Edwards XDS5、XDS10、Varian Agilent Tri Scroll 300、SH100、SH110、Kashiyama Neo Dry 15C Ebara EV-A03


这是用于带有排气消音器套件的干泵的替换滤纸元件，PN P103343、P103342、P102553、A50597000， 这只是滤纸元件。完整的排气消音器过滤系统是单独的。

Edwards-nXDS-Scroll-Vacuum-Pumps_Manual.pdf (Edwards-nXDS-Scroll-Vacuum-Pumps_Manual.pdf, 3,205 Kb) [下载]

ExploraVAC_System_User_Manual.pdf (ExploraVAC_System_User_Manual.pdf, 6,968 Kb) [下载]

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