리빌트 New Agilent Varian TwisTorr 704 FS 터보 분자 고진공 펌프, ISO 160 K 입구

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리빌트 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 터보분자 고진공 펌프, ISO 160 K 입구
Agilent Varian 부품 번호 X3511-64000

이 리빌트 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 터보분자 고진공 펌프는 ISO 160 K 입구 플랜지, KF 25 배기, 1x10^-10 Torr의 궁극 압력, 그리고 Agilent Varian 부품 번호 X3511-64002를 갖추고 있습니다. TwisTorr 704 터보 분자 펌프는 질소(N2) 660 l/s의 펌핑 속도로 최소 비용으로 성능을 극대화합니다. TwisTorr 704는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축 비율을 생성하는 TwisTorr 드래그 단계를 활용하여 높은 처리량과 포어라인 압력에 대한 높은 허용 오차를 제공하므로 더 작고 경제적인 백킹 펌프를 사용할 수 있습니다. 모든 펌핑 프로필에서 TwisTorr 704 FS를 작동하는 데 사용할 수 있는 8 CFM만큼 작은 기본 펌프 크기(예: Agilent Varian TriScroll 300 및 IDP-15 건식 스크롤 진공 펌프 또는 DS302 회전 베인 진공 펌프)를 권장합니다. ISO 및 Conflat 입구 플랜지가 있는 TwisTorr 704 터보 펌프는 베이크 가능하며 입구 플랜지에서 최대 베이크아웃 온도는 80°C(ISO) 및 120°C(Conflat)입니다. 이 장치는 수냉식이 아니지만 공냉 키트를 별도로 구매할 수 있습니다.

Agilent Varian TwisTorr 704 터보 분자 고진공 펌프는 전자 현미경(SEM, TEM), 집속 이온빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 많은 분석 기기 애플리케이션에 통합됩니다. SEM, TEM 및 FIB와 같은 최신 집속 빔 시스템은 자세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자 또는 이온을 투사하는 컬럼을 사용합니다. 최종 사용자는 유기 화합물에서 반도체 웨이퍼에 이르기까지 모든 유형의 물질을 분석합니다. 특히 반도체 산업에서는 더 나은 샘플 분해능을 위해 더 높은 감도가 필요합니다. 또 다른 핵심 요구 사항은 이러한 기기의 소유 비용을 낮추기 위한 높은 샘플 처리량입니다. Agilent Varian TwisTorr 704 터보 분자 고진공 펌프는 대형 샘플 챔버의 빠르고 오일 없는 공기 배출을 제공하기 때문에 최신 초점 빔 시스템의 핵심 구성 요소이기도 합니다(오일 없는 작동은 반도체 제조와 같은 많은 최신 분석 애플리케이션의 핵심 요구 사항입니다).

모든 옵션 액세서리, 컨트롤러 및 다양한 구성은 Ideal Vacuum Products에서 구입할 수 있습니다. 사용 설명서와 데이터시트는 다운로드 섹션에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다. 터보 펌프에 대한 모든 요구 사항은 (505) 872-0037로 전화해 주십시오.

TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf (TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf, 7,989 Kb) [다운로드]