再構築された新しい Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプ、ISO 160 K インレット

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リビルド Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプ、ISO 160 K インレット
Agilent Varian 部品番号 X3511-64000


このリビルド Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプは、ISO 160 K インレットフランジ、KF 25 排気、および 1x10-10 Torr の到達圧力を備え、Agilent Varian 部品番号 X3511-64002 です。 TwisTorr 704 ターボ分子ポンプは、窒素 (N2) の排気速度が 660 l/s で、最小のコストで最大限の性能を発揮します。TwisTorr 704 は、水素やヘリウムなどの軽いガスに対して高い圧縮比を生み出す TwisTorr ドラッグ ステージを使用して、高スループットとフォアライン圧力に対する高い許容度を実現し、より小型で経済的な補助ポンプの使用を可能にします。TwisTorr 704 FS をあらゆる排気プロファイルで動作させるために使用できる、8 CFM 程度の小型のプライマリ ポンプ サイズ (Agilent Varian TriScroll 300 および IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプまたは DS302 ロータリー ベーン真空ポンプなど) をお勧めします。 ISO および Conflat 入口フランジを備えた TwisTorr 704 ターボポンプはベーキング可能で、入口フランジでの最大ベークアウト温度は 80°C (ISO) および 120°C (Conflat) です。このユニットは水冷式ではありませんが、空冷キットを別途購入できます。

Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビームシステム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されています。SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビームシステムは、詳細な分析のために電子またはイオンを微細サンプルに投影するカラムを使用します。エンドユーザーは、有機化合物から半導体ウェーハまで、あらゆる種類の物質を分析します。特に半導体業界では、サンプル解像度を向上させるために、より高い感度が求められます。もう 1 つの重要な要件は、これらの機器の所有コストを下げるために、サンプルスループットが高いことです。 Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、大型サンプル チャンバーの高速でオイルフリーの空気排出を可能にするため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントでもあります (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションで重要な要件です)。

すべてのオプション アクセサリ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products で入手できます。ユーザー マニュアルとデータシートは、ダウンロード セクションから PDF 形式でダウンロードできます。ターボ ポンプに関するご要望はすべて、(505) 872-0037 までお電話ください。

TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf (TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf, 7,989 Kb) [ダウンロード]

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