iQDP, iH, & iL 반도체 진공 펌프용 Edwards im 인터페이스 모듈 재구축 PN: A52844463
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iQDP, iH, & iL 반도체 진공 펌프용 재구축된 Edwards im 인터페이스 모듈. PN: A528-44-463
인터페이스 모듈을 사용하면 자체 제어 장비를 사용하여 iH, iL 또는 iQ 건식 펌핑 시스템의 작동을 제어하고 상태를 모니터링할 수 있습니다.
Edwards 인터페이스 모듈은 Edwards iQ, iH & iL 건식 펌핑 시스템과 함께 사용하도록 설계되었으며 펌핑 시스템을 다른 장비에 연결할 수 있습니다. 예를 들어, 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비. 이 모듈에는 도구 인터페이스 카드와 보조 인터페이스 카드라는 두 개의 인터페이스 카드가 있습니다. 이 모델은 A528-44-463R입니다. 설치, 작동 및 유지 관리 지침은 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf 사용 설명서를 참조하세요.
Edwards 인터페이스 모듈은 Edwards iQ, iH & iL 건식 펌핑 시스템과 함께 사용하도록 설계되었으며 펌핑 시스템을 다른 장비에 연결할 수 있습니다. 예를 들어, 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비. 이 모듈에는 도구 인터페이스 카드와 보조 인터페이스 카드라는 두 개의 인터페이스 카드가 있습니다. 이 모델은 A528-44-463R입니다. 설치, 작동 및 유지 관리 지침은 아래 AVAILABLE DOWNLOADS에서 .pdf 사용 설명서를 참조하세요.
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