iQDP、iH、iL 半導体真空ポンプ用再構築 Edwards im インターフェース モジュール PN: A52844463

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iQDP、iH、iL 半導体真空ポンプ用の再構築された Edwards im インターフェイス モジュール。 PN: A528-44-463

インターフェイス モジュールを使用すると、独自の制御機器を使用して、iH、iL、または iQ ドライ ポンピング システムの動作を制御し、その状態を監視できます。

Edwards インターフェイス モジュールは、Edwards iQ、iH、iL ドライ ポンピング システムで使用するように設計されており、ポンピング システムを他の機器に接続できます。たとえば、プロセス ツールやその他の制御機器などです。このモジュールには、ツール インターフェイス カードと補助インターフェイス カードの 2 つのインターフェイス カードがあります。これはモデル A528-44-463R です。 インストール、操作、メンテナンスの手順については、以下の「ダウンロード可能なファイル」にある .pdf の取扱説明書を参照してください。


Edwards_IQ_Interface_Module_Manual_A528-44-880.pdf (Edwards_IQ_Interface_Module_Manual_A528-44-880.pdf, 2,471 Kb) [ダウンロード]

Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf (Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf, 1,968 Kb) [ダウンロード]

Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf (Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf, 7,973 Kb) [ダウンロード]

Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf (Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf, 2,049 Kb) [ダウンロード]

Edwards_Qdp_iQDP40_80_PartsList.pdf (Edwards_Qdp_iQDP40_80_PartsList.pdf, 706 Kb) [ダウンロード]

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