重建安捷伦瓦里安 TwisTorr 704 FS 涡轮分子高真空泵,CF 8 英寸入口

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翻新 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 涡轮分子高真空泵,CF 8 英寸入口
Agilent Varian 部件编号 X3511-64002


这款翻新 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 涡轮分子高真空泵的入口法兰为 CF-8,极限压力为 1x10-10 Torr,Agilent Varian 部件编号为 X3511-64002。TwisTorr 704 涡轮分子泵以最低成本实现性能最大化,氮气 (N2) 的抽气速度为 660 l/s。 TwisTorr 704 采用 TwisTorr 拖曳级,可为氢气和氦气等轻质气体产生高压缩比,从而提供高吞吐量和高前级压力耐受性,从而允许使用更小、更经济的前级泵。我们建议使用小至 8 CFM 的主泵(例如,Agilent Varian TriScroll 300 和 IDP-15 干式涡旋真空泵或 DS302 旋片真空泵),可用于在所有泵送曲线中操作 TwisTorr 704 FS。带有 ISO 和 Conflat 入口法兰的 TwisTorr 704 涡轮泵可烘烤,入口法兰处的最高烘烤温度为 80°C(ISO)和 120°C(Conflat)。该装置不是水冷的,但可以单独购买空气冷却套件。

Agilent Varian TwisTorr 704 涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中,包括电子显微镜 (SEM、TEM)、聚焦离子束系统 (FIB) 和表面分析。现代聚焦光束系统(如 SEM、TEM 和 FIB)利用柱将电子或离子投射到微观样品上进行详细分析。最终用户分析从有机化合物到半导体晶圆的所有类型的物质。特别是在半导体行业,他们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品吞吐量,以降低这些仪器的拥有成本。 Agilent Varian TwisTorr 704 涡轮分子高真空泵也是现代聚焦光束系统的关键组件,因为它们可以快速、无油地抽空大型样品室(无油操作是许多现代分析应用(如半导体制造)的关键要求)。

所有可选配件、控制器和不同配置均可从 Ideal Vacuum Products 获得。用户手册和数据表可在我们的下载部分以 PDF 格式下载。如需任何涡轮泵需求,请致电 (505) 872-0037。

TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf (TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf, 7,989 Kb) [下载]

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