再構築された Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプ、CF 8 インチインレット、水冷式
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Agilent Varian 部品番号 X3511-64017
このリビルド Agilent Varian TwisTorr 704 FS ターボ分子高真空ポンプには、CF-8 インレット フランジがあり、到達圧力は 1x10-10 Torr で、Agilent Varian 部品番号は X3511-64017 です。 TwisTorr 704 ターボ分子ポンプは、窒素 (N2) の排気速度が 660 l/s で、最小のコストで最大限の性能を発揮します。TwisTorr 704 は、水素やヘリウムなどの軽いガスに対して高い圧縮比を生み出す TwisTorr ドラッグ ステージを使用して、高スループットとフォアライン圧力に対する高い許容度を実現し、より小型で経済的な補助ポンプの使用を可能にします。TwisTorr 704 FS をあらゆる排気プロファイルで動作させるために使用できる、8 CFM 程度の小型のプライマリ ポンプ サイズ (Agilent Varian TriScroll 300 および IDP-15 ドライ スクロール真空ポンプまたは DS302 ロータリー ベーン真空ポンプなど) をお勧めします。 ISO および Conflat 入口フランジを備えた TwisTorr 704 ターボポンプはベーキング可能で、入口フランジでの最大ベークアウト温度は 80°C (ISO) および 120°C (Conflat) です。このユニットは水冷用に設計されていますが、別売りの空冷キットを同時に実行することもできます。
Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビームシステム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されています。SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビームシステムは、詳細な分析のために電子またはイオンを微細サンプルに投影するカラムを使用しています。エンドユーザーは、有機化合物から半導体ウェーハまで、あらゆる種類の物質を分析します。特に半導体業界では、サンプル解像度を向上させるために、より高い感度が求められます。もう 1 つの重要な要件は、これらの機器の所有コストを削減するための高いサンプル スループットです。Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、大型サンプル チャンバーの高速でオイルフリーの空気排出を可能にするため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントでもあります (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。
すべてのオプション アクセサリ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products から入手できます。ユーザー マニュアルとデータシートは、ダウンロード セクションから PDF 形式でダウンロードできます。ターボ ポンプに関するご要望はすべて、(505) 872-0037 までお電話ください。
Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビームシステム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されています。SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビームシステムは、詳細な分析のために電子またはイオンを微細サンプルに投影するカラムを使用しています。エンドユーザーは、有機化合物から半導体ウェーハまで、あらゆる種類の物質を分析します。特に半導体業界では、サンプル解像度を向上させるために、より高い感度が求められます。もう 1 つの重要な要件は、これらの機器の所有コストを削減するための高いサンプル スループットです。Agilent Varian TwisTorr 704 ターボ分子高真空ポンプは、大型サンプル チャンバーの高速でオイルフリーの空気排出を可能にするため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントでもあります (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。
すべてのオプション アクセサリ、コントローラ、およびさまざまな構成は、Ideal Vacuum Products から入手できます。ユーザー マニュアルとデータシートは、ダウンロード セクションから PDF 形式でダウンロードできます。ターボ ポンプに関するご要望はすべて、(505) 872-0037 までお電話ください。
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