改造 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 渦輪分子高真空泵，CF 8 英吋入口，水冷

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改造 Agilent Varian TwisTorr 704 FS 渦輪分子高真空泵，CF 8 英吋入口，水冷
Agilent Varian 零件號 X3511-64017

這款改造版安捷倫瓦里安TwisTorr 704 FS 渦輪分子高真空幫浦的入口法蘭配有CF-8，極限壓力為1x10^-10 Torr，安捷倫瓦里安零件號X3511-64017。 TwisTorr 704 渦輪分子幫浦以最低的成本最大限度地提高性能，氮氣 (N2) 的抽速為 660 公升/秒。 TwisTorr 704 採用 TwisTorr 拖曳級，可為氫氣和氦氣等輕質氣體提供高壓縮比，從而提供高吞吐量和高耐受性的前置管道壓力，從而允許使用更小、更經濟的前級幫浦。我們建議使用小至 8 CFM 的主泵（例如 Agilent Varian TriScroll 300 和 IDP-15 乾式渦旋真空泵或 DS302 旋片真空泵），該泵可用於在所有泵送配置中操作 TwisTorr 704 FS。帶有 ISO 和 Conflat 入口法蘭的 TwisTorr 704 渦輪泵可烘烤，入口法蘭處的最高烘烤溫度為 80°C(ISO) 和 120°C(Conflat)。該裝置設計用於水冷，但可以同時運行空氣冷卻套件，該套件可單獨購買。 Agilent Varian TwisTorr 704 渦輪分子高真空幫浦整合到許多分析儀器應用中，包括電子顯微鏡 (SEM、TEM)、聚焦離子束系統 (FIB) 和表面分析現代聚焦束系統，例如 SEM、TEM 和 FIB 使用色譜管柱將電子或離子投射到微觀樣品上進行詳細分析。最終用戶分析從有機化合物到半導體晶圓的所有類型的物質。特別是在半導體行業，他們需要更高的靈敏度以獲得更好的樣品解析度。另一個關鍵要求是高樣品通量，以降低這些儀器的擁有成本。 Agilent Varian TwisTorr 704 渦輪分子高真空幫浦也是現代聚焦光束系統的關鍵組件，因為它們可為大型樣品室提供快速、無油的空氣排空（無油操作是許多現代分析應用的關鍵要求，例如半導體製造）。

所有可選配件、控制器和不同配置均可在 Ideal Vacuum Products 處購買。您可以在我們的下載部分下載 PDF 格式的使用者手冊和資料表。如果您有渦輪泵的所有需求，請致電 (505) 872-0037 與我們聯絡。

TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf (TwisTorr_704FS_turbo_pump_user_manual.pdf, 7,989 Kb) [下載]