Pfeiffer HiPace 450 터보 펌프, TC 400 드라이브 유닛 Conflat CF 8.0인치 입구 플랜지 380 l/s 펌핑 속도 수냉식, PN: PM P070 511 40

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TC 400 구동 장치 Conflat CF 8.0인치 입구 플랜지 380 l/s 펌핑 속도 수냉식 Pfeiffer HiPace 450 터보 펌프. Pfeiffer 부품 번호: PM P070 511 40.

DN160 CF Conflat CF 8.0인치 입구 플랜지가 있는 Pfeiffer HiPace 450 터보 분자 고진공 펌프는 펌핑 속도가 초당 380리터(l/s)이고 궁극 압력은 3.5 x 10-10 Torr입니다. 이 Pfeiffer HiPace 450 펌프는 펌프 측면에 통합된 TC 400 구동 장치와 함께 제공되며 ISO KF-16 배기 포어라인 플랜지가 있습니다. 펌프는 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다. 최대 300와트의 24 VDC 입력 전원이 필요합니다. CF 8.0" 입구와 TC 400 구동 장치가 있는 이 HiPace 450 터보 펌프는 표준으로 수냉 키트와 함께 제공되며 Pfeiffer 부품 번호는 PM P070 511 40입니다.

포함된 TC 400 구동 장치는 RS485 통신 인터페이스, 원격 작동을 위한 D-sub 커넥터, 두 개의 액세서리 포트(공기 냉각 팬 또는 솔레노이드 벤트 밸브를 제어하기 위한)를 포함하는 소형 온보드 컨트롤러입니다. OEM(Original Equipment Manufacturer) 및 시스템 통합 애플리케이션의 경우 펌프를 시작하는 데 필요한 것은 시작/중지 논리와 함께 적합한 24 VDC 전원 공급 장치뿐입니다. 실험실 애플리케이션의 경우 전원을 공급하고 펌프를 제어할 수 있는 300와트 Pfeiffer OmniControl 300 컨트롤러를 권장합니다. OmniControl 300은 벤치탑 또는 랙 장착형 원격 사용자 인터페이스/전원으로, Pfeiffer HiPace 시리즈 터보 펌프와 통신하고 전체 모니터링 및 제어를 제공합니다. RS485.

OmniControl 300 펌프 컨트롤러, 입구 스크린, 강제 공기 냉각 키트, 솔레노이드 작동식 환기 밸브, 히터 밴드(Conflat CF 플랜지 펌프에만 해당) 등 다양한 옵션 액세서리를 제공합니다.

CF 8.0" 입구 및 TC 400 구동 장치가 있는 Pfeiffer HiPace 450 터보 펌프 사양:

  • 부품 번호: PM P070 511 40
  • 입구 플랜지: Conflat CF 8.0인치
  • 기본 압력: 3.5 x 10-10 Torr
  • 고진공 플랜지에서 최대 베이크아웃 온도: 120°C
  • 작동 속도: 66,000RPM
  • 장착 방향: 임의
  • 펌핑 속도: 380 l/s
  • 냉각 방법 표준: 물(100 l/h, 15~25 °C)
  • 냉각 방식 선택 사항: 강제 공기
  • 배기 플랜지: KF-16, G 3/8” (BSPP)
  • 환기 연결: G 1/8” (BSPP)
  • 통합 컨트롤러: TC 400 드라이브 장치
  • 작동 전압: 24 VDC
  • 최대 전력: 300와트
  • 런업 시간: 4분
  • 인터페이스: M12 커넥터를 통한 RS485
  • 리모컨: 고밀도 26핀 Sub-D 커넥터
  • 액세서리 포트: A 및 B로 표시된 두 개의 M12 소켓
  • 권장 러핑 펌프: HiScroll 12 Dry Scroll 펌프

Pfeiffer Vacuum HiPace 시리즈 터보펌프는 입증된 하이브리드 베어링이 있는 독특한 로터 디자인을 특징으로 합니다. HiPace 펌프는 높은 펌핑 속도와 높은 가스 처리량, 가벼운 가스에 대한 높은 압축을 달성합니다. HiPace 펌프는 더 높은 백킹 라인 압력에 대한 내성을 개선하기 위해 터보 분자 및 드래그 단계를 모두 갖추고 있으며 모든 가스 종류에 걸쳐 향상된 펌핑 속도를 제공합니다. HiPace 하이브리드 베어링은 전방 진공 측의 세라믹 볼 베어링과 고진공 측의 영구 자석 방사형 베어링의 조합입니다. 이 베어링 기술은 전자석이 필요하지 않으며 일반적인 유지 관리 간격이 약 4년인 연장된 서비스 수명을 제공합니다. 향상된 성능 외에도 모든 HiPace 터보 펌프에는 현장에서 서비스 가능한 오일 카트리지와 샤프트 베어링이 있어 가동 중단 시간을 크게 줄입니다.

Conflat CF 플랜지가 있는 Pfeiffer HiPace 펌프는 궁극적 압력이 10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(모든 금속 흡입 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버를 완전히 세척하고 베이크 아웃한 경우). ISO 플랜지가 있는 터보 펌프는 (고무/엘라스토머 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 궁극적 압력이 10-8 Torr 범위로 제한됩니다. 터보가 수냉식인 경우 Conflat 플랜지 HiPace 펌프의 흡입구는 최대 120°C까지 베이크될 수 있습니다.

일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.

  • 일반적인 클린 펌핑 응용 분야
  • 주사 전자 현미경 - SEM
  • 빔 라인 및 고에너지 물리학
  • 질량 분석
  • 전자 현미경
  • 샘플 준비
  • 연구 및 개발
  • 고에너지 물리학
  • 산업
  • 반도체
  • 코팅
  • 표면 과학 장비

펌프 사용 설명서 및 Pfeiffer HiPace 펌프 제품 브로셔는 다운로드에서 제공됩니다.

P61012604.sldprt (P61012604.sldprt, 2,935 Kb) [다운로드]

P61012604.step (P61012604.step, 3,665 Kb) [다운로드]

Ideal_Vacuum_Pfeiffer_HiPace_450_Turbo_Pump_Users_Manul.pdf (Ideal_Vacuum_Pfeiffer_HiPace_450_Turbo_Pump_Users_Manul.pdf, 5,697 Kb) [다운로드]

Pfeiffer_Vacuum_OmniControl_Users_Manual.pdf (Pfeiffer_Vacuum_OmniControl_Users_Manual.pdf, 5,422 Kb) [다운로드]

Pfeiffer_Vacuum_OmniControl_Gauge_IO.pdf (Pfeiffer_Vacuum_OmniControl_Gauge_IO.pdf, 808 Kb) [다운로드]

Pfeiffer_TC400_Operating_Instructions.pdf (Pfeiffer_TC400_Operating_Instructions.pdf, 1,033 Kb) [다운로드]

HiPace_60-450_DataSheet.pdf (HiPace_60-450_DataSheet.pdf, 646 Kb) [다운로드]

Ideal_Vacuum_Pfeiffer_HiPace_Cooling_Fan_Users_Manual.pdf (Ideal_Vacuum_Pfeiffer_HiPace_Cooling_Fan_Users_Manual.pdf, 3,025 Kb) [다운로드]

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