Pfeiffer CMR 364 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージ、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R)、1 hPa (1 mBar/750 mTorr) フルスケール。PN: PT R24 632
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CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジ付き Pfeiffer CMR 364 キャパシタンス ダイアフラム ゲージは、1 hPa (1 mBar/750 mTorr) のフルスケール測定範囲と、10-4 mbar (7.5 x10-2 mTorr) の最小測定範囲を備えています。このゲージの応答時間は 30 ミリ秒で、精度は測定値の 0.2% です。セラミック アルミナ キャパシティブ センサー エレメントは、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルやガス変換計算は必要ありません。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック キャパシティブ ダイアフラム ゲージは、TPG 361、362、366 Pfeiffer ゲージ コントローラーと互換性があり、センサー ケーブルが必要です。この Web サイトでは、長さ 3 ～ 10 メートルのケーブルを入手できます。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック キャパシティブ ダイアフラム ゲージは、TPG 361、362、366 Pfeiffer ゲージ コントローラーと互換性があり、センサー ケーブルが必要です。この Web サイトでは、長さ 3 ～ 10 メートルのケーブルを入手できます。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。
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