Pfeiffer CMR 363 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージ、CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジ、10 hPa (10 mBar/7.5 Torr) フルスケール。PN: PT R24 622
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CF 1-1/3 (DN 16 CF-R) フランジを備えた Pfeiffer CMR 363 キャパシタンス ダイアフラム ゲージは、フルスケール測定範囲が 10 hPa (10 mBar/7.5 Torr)、最小測定範囲が 10-3 mbar (0.75 mTorr) です。このゲージの応答時間は 30 ミリ秒で、精度は測定値の 0.2% です。セラミック アルミナ キャパシティブ センサー エレメントは、ガスの種類や組成に関係なく、ガスの絶対圧力を測定するために使用されます。ルックアップ テーブルやガス変換計算は必要ありません。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック キャパシティブ ダイアフラム ゲージは、TPG 361、362、366 Pfeiffer ゲージ コントローラーと互換性があり、センサー ケーブルが必要です。この Web サイトでは、長さ 3 ～ 10 メートルのケーブルを入手できます。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック キャパシティブ ダイアフラム ゲージは、TPG 361、362、366 Pfeiffer ゲージ コントローラーと互換性があり、センサー ケーブルが必要です。この Web サイトでは、長さ 3 ～ 10 メートルのケーブルを入手できます。コントローラーとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。
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