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全新 Edwards 排气止回阀套件，适用于 IH、QDP、IQDP 干泵、KF 40 法兰

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全新 Edwards 排气止回阀套件，适用于 IH、QDP、IQDP 干泵、KF 40 连接法兰

这是 Edwards 真空泵排气止回阀套件。它通常用于帮助防止空气在断电期间通过泵向后冲。它们只是一个单向阀，旨在抑制向后的气流。即使安装了其中一个止回阀，泵最终也会增加到大气压。这些止回阀有助于防止工艺粉末在大量气流中向后冲。它们通常用于 Edwards 干式半导体泵、iH、QDP 和iQDP 干式泵。

排气止回阀套件包括：
(2) KF-40 铰链夹
(2) KF-40 过压定心环
(1) KF-40 排气止回阀
(1) KF-40 90 度弯头不锈钢

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