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全新 Edwards 排氣止回閥套件，適用於 IH、QDP、IQDP 乾泵，KF 40 法蘭

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適用於 IH、QDP、IQDP 乾泵、KF 40 連接法蘭的全新 Edwards 排氣止回閥套件

這是 Edwards 真空幫浦排氣止回閥套件。它通常用於幫助防止空氣在斷電期間通過泵向後衝。它們只是一種單向閥，旨在抑制向後的氣流。即使安裝了這些止回閥之一，泵浦最終也會增加到大氣壓力。這些止回閥有助於防止製程粉末因大氣流而向後沖走。它們通常用於 Edwards 乾式半導體幫浦、iH、QDP 和幫浦。 iQDP 乾泵。 排氣止回閥套件包括：
(2) KF-40 鉸鏈夾
(2) KF-40 過壓定心環
(1) KF-40排氣止回閥
(1) KF-40 90度不銹鋼彎頭

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Edwards_GXS_Exhaust_Silencer_Manual_2.pdf (Edwards_GXS_Exhaust_Silencer_Manual_2.pdf, 708 Kb) [下載]

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