IH, QDP, IQDP 건식 펌프용 NEW Edwards 배기 체크 밸브 키트, KF 40 플랜지
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이것은 Edwards 진공 펌프 배기 체크 밸브 키트입니다. 일반적으로 전원이 꺼진 동안 펌프를 통해 공기가 뒤로 흐르는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이것은 단순한 일방향 밸브이며, 뒤로 흐르는 공기 흐름을 억제하도록 설계되었습니다. 이러한 체크 밸브 중 하나를 설치하더라도 펌프는 결국 대기압까지 상승합니다. 이러한 체크 밸브는 대량의 공기 흐름으로 공정 분말이 뒤로 쓸려가는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다. 일반적으로 Edwards 건식 반도체 펌프, iH, QDP 및 iQDP 건식 펌프.
배기 체크 밸브 키트에는 다음이 포함됩니다.
(2) KF-40 힌지 클램프
(2) KF-40 과압 센터링 링
(1) KF-40 배기 체크 밸브
(1) KF-40 90도 엘보 스테인리스 스틸
배기 체크 밸브 키트에는 다음이 포함됩니다.
(2) KF-40 힌지 클램프
(2) KF-40 과압 센터링 링
(1) KF-40 배기 체크 밸브
(1) KF-40 90도 엘보 스테인리스 스틸
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