IH, QDP, IQDP 건식 펌프용 NEW Edwards 배기 체크 밸브, KF 40 플랜지 PN A44003000
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이러한 Edwards 진공 펌프 배기 체크 밸브는 일반적으로 전원이 꺼진 동안 공기가 펌프를 통해 뒤로 흐르는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 이는 단순한 일방향 밸브이며, 뒤로 흐르는 공기 흐름을 억제하도록 설계되었습니다. 이러한 체크 밸브 중 하나를 설치하더라도 펌프는 결국 대기압까지 상승합니다. 이러한 체크 밸브는 대량의 공기 흐름으로 인해 공정 분말이 뒤로 쓸려가는 것을 방지하는 데 도움이 됩니다. 이는 일반적으로 Edwards 건식 반도체 펌프, iH, QDP 및 iQDP 건식 펌프에 사용됩니다.
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