全新 Edwards EPX 500LE 高真空主幹真空幫浦 208 VAC 3PH。 3/8 英吋水連接器 ISO 160 入口 - 零件號碼 A41953712 - 附 MCM TIM
Delivery
Payment options
Our advantages
- — 12 months warranty
- — SMS notification
- — Return and exchange
- — Different payment methods
- — Best price
保存 20%
幫浦的定子和封閉式馬達由整合式水冷卻迴路冷卻。因此，EPX 幫浦適用於無法接受風扇冷卻的無塵室環境中的應用。冷卻水供回水管道透過水接頭（客戶指定）與幫浦連接。冷卻水必須與環境條件（濕度和溫度）相適應，以免達到露點。 此幫浦配有 EMC 電源濾波器和逆變器驅動器，為幫浦馬達提供並控制電源。前蓋上的 LED 指示燈可辨識 EPX 幫浦的狀態。馬達速度取決於幫浦入口處的壓力。當幫浦在入口壓力等於或接近大氣壓力的情況下啟動時，馬達加速到由逆變器驅動器提供的電流限制的速度。隨著入口壓力降低，馬達速度增加，直到最終達到預設的最大速度。如果入口處的壓力增加，馬達將再次減速。
EPX LE 系列幫浦可使用最終用戶控制 (EUC) 本機顯示器和鍵盤進行手動操作，或使用幫浦顯示終端 (PDT)（如果已安裝）進行遠端操作；它還可以透過網路進行控制和監控，網路透過網路連接器連接到 EPX 幫浦。當 EPX LE 系列幫浦透過工具介面模組 (TIM) 進行控制時，EUC 僅監控幫浦的狀態。 EPX 幫浦與 Fabworks 32 相容。 EPX 有四個隔振器。 如果發生故障，泵浦保護感測器會自動關閉泵浦。 EPX 系列涵蓋了從晶圓處理到中型製程的廣泛應用。 EPX“LE”系列設計用於泵送惰性氣體混合物的清潔負載應用，例如負載鎖，其中控制由製程工具介面提供。 將使用手冊下載到旁邊。
请登录，以便我们通知您回复
