Pompe à vide primaire sèche à haut vide Edwards EPX 500LE 208 VCA 3PH. Connecteur d'eau 3/8 po Entrée ISO 160 - Numéro de pièce A41953712 - Avec MCM TIM

La nouvelle pompe sèche à vide élevé compacte EPX500LE AVEC module d'interface d'outil (TIM) offre des performances améliorées avec un coût de possession réduit. Grâce à un mécanisme breveté unique, l'EPX500LE est capable de pomper de l'atmosphère à des pressions ultimes inférieures à 7 x 10-7 Torr. Ce sont des pompes vraiment étonnantes ; la pompe Edwards EPX peut pomper de l'atmosphère à la plage de pression turbomoléculaire et peut fonctionner en continu à toutes les pressions d'entrée. Basé sur la gamme primée IPX, le modèle modulaire EPX500 offre des performances exceptionnelles dans un boîtier 20 % plus léger, 30 % plus petit et nécessitant 40 % d'énergie en moins que l'IPX. La série de pompes EPX LE est dotée d'un contrôleur d'utilisateur final (EUC). Le contrôleur d'utilisateur final permet un contrôle local pour une utilisation autonome ainsi que la possibilité de se connecter à un réseau à l'échelle de l'usine pour le contrôle et la surveillance à distance. Le système de pompe EPX fonctionne à des pressions comprises entre le vide atmosphérique et le vide ultime, sans fluide de lubrification ou d'étanchéité dans la chambre de pompage. Cela garantit un système de pompage propre sans rétromigration d'huile ou de fluide dans le système en cours d'évacuation.

Le stator de la pompe et le moteur fermé sont refroidis par un circuit de refroidissement par eau intégré. La pompe EPX est donc adaptée aux applications dans les environnements de salle blanche où le refroidissement par ventilateur est inacceptable. Les conduites d'alimentation et de retour d'eau de refroidissement sont raccordées à la pompe par des connecteurs d'eau (spécifiés par le client). L'eau de refroidissement doit être adaptée aux conditions environnementales (humidité et température) de manière à ce que le point de rosée ne soit pas atteint. La pompe intègre un filtre d'alimentation CEM et un variateur de fréquence, qui fournit et contrôle l'alimentation électrique du moteur de la pompe. Des LED sur le capot avant identifient l'état de la pompe EPX. La vitesse du moteur dépend de la pression à l'entrée de la pompe. Lorsque la pompe est démarrée avec une pression d'entrée égale ou proche de la pression atmosphérique, le moteur accélère jusqu'à une vitesse limitée par le courant qui peut être fourni par le variateur de fréquence. Lorsque la pression à l'entrée diminue, la vitesse du moteur augmente jusqu'à atteindre finalement sa vitesse maximale prédéfinie. Si la pression à l'entrée augmente, le moteur ralentit à nouveau.

La série de pompes EPX LE peut être commandée manuellement à l'aide de l'écran et du clavier locaux de commande de l'utilisateur final (EUC), ou à distance à l'aide d'un terminal d'affichage de pompe (PDT), s'il est installé ; elle peut également être contrôlée et surveillée via le réseau, qui se connecte à la pompe EPX via le connecteur réseau. Lorsque la série de pompes EPX LE est contrôlée via le module d'interface d'outil (TIM), l'EUC surveille simplement l'état de la pompe. La pompe EPX est compatible avec Fabworks 32. L'EPX dispose de quatre isolateurs de vibrations. Les capteurs de protection de la pompe arrêtent automatiquement la pompe en cas de défaillance. La série EPX couvre une large gamme d'applications, de la manipulation de plaquettes aux processus à usage moyen. La série EPX « LE » a été conçue pour être utilisée dans des applications de pompage de mélanges de gaz inertes, comme les sas de chargement, où le contrôle est assuré par l'interface de l'outil de processus. Téléchargez un manuel d'instructions sur le côté.