全新 Edwards EPX 500LE 高真空主干式真空泵 208 VAC 3PH。3/8 英寸水连接器 ISO 160 入口 - 零件编号 A41953012 - 不带 TIM
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全新紧凑型 EPX500LE 无工具接口模块 (TIM) 高真空干泵可提供增强的性能并降低拥有成本。使用独特的专利保护机制，EPX500LE 能够从大气压抽气到小于 7 x 10-7 Torr 的极限压力。这些泵确实令人惊叹；Edwards EPX 泵可以从大气压抽气到涡轮分子压力范围，并且可以在所有入口压力下连续运行。基于屡获殊荣的成功 IPX 系列，模块化 EPX500 提供出色的性能，其封装比 IPX 轻 20%、小 30% 且耗电量减少 40%。EPX LE 系列泵具有最终用户控制器 (EUC)。最终用户控制器可实现独立使用的本地控制，以及连接到工厂范围的网络以进行远程控制和监控。EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下运行，泵室内没有润滑或密封液。这可确保泵送系统清洁，不会有油或液体回流到被抽空的系统中。
泵的定子和封闭的电机由集成的水冷回路冷却。因此，EPX 泵适用于无法使用风扇冷却的洁净室环境。冷却水供应和回流管道通过水连接器（客户指定）连接到泵。冷却水必须与环境条件（湿度和温度）相称，以免达到露点。泵包含 EMC 电源滤波器和逆变器驱动器，用于提供和控制泵电机的电源。前盖上的 LED 指示 EPX 泵的状态。电机速度取决于泵入口处的压力。当泵启动时，入口压力等于或接近大气压，电机加速到一定速度，该速度受逆变器驱动器提供的电流限制。随着入口压力的降低，电机速度会增加，直到最终达到其预设的最大速度。如果入口压力增加，电机将再次减速。
EPX LE 系列泵可以使用最终用户控制 (EUC) 本地显示器和键盘手动操作，或使用泵显示终端 (PDT)（如果安装）远程操作；它也可以通过网络进行控制和监控，网络通过网络连接器连接到 EPX 泵。当 EPX LE 系列泵通过工具接口模块 (TIM) 进行控制时，EUC 仅监控泵的状态。 EPX 泵与 Fabworks 32 兼容。 EPX 有四个隔振器。 如果出现故障情况，泵保护传感器会自动关闭泵。 EPX 系列涵盖了从晶圆处理到中型工艺的广泛应用。 EPX“LE”系列设计用于泵送惰性气体混合物的清洁应用，例如负载锁，控制由工艺工具接口提供。将说明手册下载到侧面。
泵的定子和封闭的电机由集成的水冷回路冷却。因此，EPX 泵适用于无法使用风扇冷却的洁净室环境。冷却水供应和回流管道通过水连接器（客户指定）连接到泵。冷却水必须与环境条件（湿度和温度）相称，以免达到露点。泵包含 EMC 电源滤波器和逆变器驱动器，用于提供和控制泵电机的电源。前盖上的 LED 指示 EPX 泵的状态。电机速度取决于泵入口处的压力。当泵启动时，入口压力等于或接近大气压，电机加速到一定速度，该速度受逆变器驱动器提供的电流限制。随着入口压力的降低，电机速度会增加，直到最终达到其预设的最大速度。如果入口压力增加，电机将再次减速。
EPX LE 系列泵可以使用最终用户控制 (EUC) 本地显示器和键盘手动操作，或使用泵显示终端 (PDT)（如果安装）远程操作；它也可以通过网络进行控制和监控，网络通过网络连接器连接到 EPX 泵。当 EPX LE 系列泵通过工具接口模块 (TIM) 进行控制时，EUC 仅监控泵的状态。 EPX 泵与 Fabworks 32 兼容。 EPX 有四个隔振器。 如果出现故障情况，泵保护传感器会自动关闭泵。 EPX 系列涵盖了从晶圆处理到中型工艺的广泛应用。 EPX“LE”系列设计用于泵送惰性气体混合物的清洁应用，例如负载锁，控制由工艺工具接口提供。将说明手册下载到侧面。
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