新しい Agilent 可変リークバルブ CF 2.75 x CF 1.33、光学的に平坦なサファイアアセンブリを備えた可動ピストン。

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新しい Agilent 可変リークバルブ CF 2.75 インチ x Mini-CF 1.33 インチ。光学的に平坦なサファイアを備えた可動ピストンが含まれています。 PN: 951-5106

Agilent 可変リークバルブは、調整可能なリークを確立するために、あらゆる真空システムに追加できます。リーク速度が 1 x 10^-10 Torr-リットル/秒と小さい場合でも、これまでにない制御感度と安定性を提供し、リークのサイズが大きくなるにつれて変化率が増加します。これにより、リークのサイズに比例した正確な制御が可能になります。駆動機構を含むバルブ全体は、開位置でも閉位置でも 450°C までベーク可能です。このバルブは、10^-11 Torr (mbar) 未満の真空範囲で動作し、最大 500 psi の入口ガス圧力を備えています。

バルブは閉じた漏れのない位置で出荷され、潤滑されており、すぐに取り付けることができます。可変リークバルブが取り付けられているメインフランジ接続は、外径 2 3/4 インチの ConFlat フランジと結合します。入口ガス接続は、標準の 1 1/3 インチ Mini-ConFlat フランジを介して行われます。リークレートの調整は、ローレットノブで制御されます。リークを開くには、ローレットノブを (一緒に) 反時計回りに、少なくとも 2 回転完全に回す必要があります。バルブを閉じるには、ノブを (一緒に) 時計回りに回してハンドルに対して停止位置まで回します。

可変リークバルブには、光学的に平坦なサファイアが付いた可動ピストンが含まれ、捕捉された金属ガスケットと接触します。これにより、摩擦、固着、せん断がまったくないシールが実現します。サファイアの動きは、13,000 対 1 の機械的利点を持つねじ付きシャフトとレバーのメカニズムによって制御されます。スプリングワッシャーにより、この駆動メカニズムは常に負荷がかかっており、このタイプのデバイスに通常伴うバックラッシュが排除されます。これにより、指で操作する調整ノブの小さな動きに即座に反応します。シールが行われるたびにガスケットにいくらかの永久圧縮が行われますが、その変化はごくわずかです。ノブを前の位置に戻すと、リークレートはほぼ同じになります。シールメカニズムのコンポーネント (サファイアアセンブリとガスケットアセンブリ) は両方とも簡単に交換できます。未焼成システムのガスケットの寿命は、約 300 回の閉鎖ですが、焼成システムの場合はわずか 20 ～ 30 回の閉鎖です。

Agilent 可変リークバルブは、特定の範囲でターボを稼働させてその圧力を維持するために正確な圧力選択を必要とするアプリケーションに最適です。このバルブは、特定のアプリケーションのニーズに合わせて圧力選択を変更し、その後、簡単かつ正確に別の選択に移動できるように設計されています。このバルブの修理と調整に必要なすべてのツールは、以下の関連製品セクションで提供しています。これには、サファイアやガスケットアセンブリなどの交換部品も含まれます。 Agilent 可変リークバルブの操作方法とメンテナンス方法の詳細については、以下のマニュアルセクション (pdf) を参照してください。

特徴