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MKS 진공 센서 카드 듀얼 대류 피라니, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. PN: 100015132

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MKS 진공 센서 카드 듀얼 대류 피라니, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용.
MKS 부품 번호: 100015132.

MKS 진공 센서 카드는 듀얼 피라니 대류 센서를 지원하며 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다.
이러한 카드는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에서 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 컨트롤을 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독 및 제어합니다.

937B-Manual.pdf (937B-Manual.pdf, 3,035 Kb) [다운로드]

937B-data-sheet.pdf (937B-data-sheet.pdf, 918 Kb) [다운로드]

946-Manual.pdf (946-Manual.pdf, 1,842 Kb) [다운로드]

946-DataSheet.pdf (946-DataSheet.pdf, 427 Kb) [다운로드]

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