MKS T2BA 蝶形排氣節流閥、KF40、「F-Seal」（擋板上的 Viton O 型環）、RS232、感測器電源（適用於 Baratron）。零件編號：T2BA01K320003V210025
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MKS T2BA 蝶形排氣節流閥，KF40，「F 型密封」（擋板上的氟橡膠 O 型環），低功率馬達（8 英吋磅），105°C，
RS232，附+/-15VDC感測器電源（用於Baratron）。
MKS 零件號碼：T2BA01K320003V210025。
MKS T2BA 排氣節流閥專為需要簡單而先進的壓力的應用而設計
需要控制系統。 T2BA 將所有控制、通訊和驅動電路整合在節流閥組件內，因此無需安裝單獨的壓力控制電子模組。獨特的基於模型的控制演算法和高速運行驅動系統以最小的超調快速達到設定點，並確保可重複的製程配方，無需操作員參與。
T2BA 排氣節流閥可以在兩種主要模式下運作：擋板定位或壓力控制，其中任何一種模式都可以由使用者透過 I/O 介面啟動。所有可調整的設定參數、運行時操作和診斷資訊均可使用 透過通訊接口。 EtherCAT T2BA 與 EtherCAT 壓力計完全相容。模擬壓力計需要網關。
下游壓力控制技術提供寬動態範圍，適用於所有類型的泵，提供快速響應，並且能夠耐受大多數廢氣。 「智慧儀器」概念可以節省寶貴的系統空間，提高抗噪能力，並輕鬆存取時間關鍵的流程和校準資訊以及板載診斷功能。
T2BA 採用直接驅動高速步進馬達。閥門驅動器提供高解析度壓力控制。可選的高扭力直驅馬達可延長正常運作時間並延長預防性維護週期—這在要求嚴苛的環境中具有巨大優勢 僅一小時的停機時間就可能造成數千美元損失的流程。 T2BA 還提供齒輪版本，可提供最大扭矩並能夠在惡劣環境下長期運作。 可用 MKS 外部加熱器（需要正確選擇密封材料）。
T2BA 提供獨特的 MKS 低電導版本，可在大氣應用中實現高速壓力控制，包括排氣壓力控制、CVD 和 RTP，而無需依賴基於 O 形圈的設計來最大限度地減少閥門電導。 提供基於編碼器的位置回饋系統用於診斷目的。該閥門採用耐腐蝕 316 不銹鋼製成，與大多數工藝氣體兼容，並提供標準 ISO 法蘭樣式，孔徑為 1" 至 4"（可根據定制提供其他尺寸）。提供的標準密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以與各種工藝化學和/或加熱應用相容。
RS232，附+/-15VDC感測器電源（用於Baratron）。
MKS 零件號碼：T2BA01K320003V210025。
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產品特性：
- 緊湊型壓力控制系統 - 具有整合式板載控制器電子設備的閥門
- 輕鬆集成，無需額外的電纜或機架空間 - 提供高速配置（<250 毫秒。開啟至關閉）
- 更快的設定點以及從流量和壓力擾動中恢復
- 實現高工具吞吐量 - 可選高扭力驅動器 - 延長惡劣製程條件下的正常運作時間
- 雙通道 Baratron® 感測器輸入，具有量程自動切換功能 - 支援寬動態壓力控制範圍
- 基於模型的高階壓力控制演算法 - 最大限度地縮短到達設定點的時間
- 提供低電導軟密封版本 - 即使在低流量下也支援高壓製程（Epi、RTP、SACVD 等）
- 為連接的 Baratron 電容壓力計提供電源（可選，某些型號）
- 允許較高的壓力控制精度
- 確保無需操作員參與即可重複工藝配方
- 適合「室內排氣」或大氣應用
T2BA 排氣節流閥可以在兩種主要模式下運作：擋板定位或壓力控制，其中任何一種模式都可以由使用者透過 I/O 介面啟動。所有可調整的設定參數、運行時操作和診斷資訊均可使用 透過通訊接口。 EtherCAT T2BA 與 EtherCAT 壓力計完全相容。模擬壓力計需要網關。
下游壓力控制技術提供寬動態範圍，適用於所有類型的泵，提供快速響應，並且能夠耐受大多數廢氣。 「智慧儀器」概念可以節省寶貴的系統空間，提高抗噪能力，並輕鬆存取時間關鍵的流程和校準資訊以及板載診斷功能。
T2BA 採用直接驅動高速步進馬達。閥門驅動器提供高解析度壓力控制。可選的高扭力直驅馬達可延長正常運作時間並延長預防性維護週期—這在要求嚴苛的環境中具有巨大優勢 僅一小時的停機時間就可能造成數千美元損失的流程。 T2BA 還提供齒輪版本，可提供最大扭矩並能夠在惡劣環境下長期運作。 可用 MKS 外部加熱器（需要正確選擇密封材料）。
T2BA 提供獨特的 MKS 低電導版本，可在大氣應用中實現高速壓力控制，包括排氣壓力控制、CVD 和 RTP，而無需依賴基於 O 形圈的設計來最大限度地減少閥門電導。 提供基於編碼器的位置回饋系統用於診斷目的。該閥門採用耐腐蝕 316 不銹鋼製成，與大多數工藝氣體兼容，並提供標準 ISO 法蘭樣式，孔徑為 1" 至 4"（可根據定制提供其他尺寸）。提供的標準密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以與各種工藝化學和/或加熱應用相容。
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