Papillon d'échappement MKS T2BA, KF40, « F-Seal » (joint torique Viton sur le clapet), RS232, alimentation du capteur (pour Baratron). PN : T2BA01K320003V210025

La vanne papillon d'échappement MKS T2BA est spécialement conçue pour les applications où un système de contrôle de pression simple, mais avancé, est souhaité. La T2BA intègre tous les circuits de contrôle, de communication et de commande dans un ensemble de vanne papillon, éliminant ainsi le besoin de monter un module électronique de contrôle de pression séparé. L'algorithme de contrôle unique basé sur un modèle et le fonctionnement à grande vitesse conduisent le système à un point de consigne rapide avec un dépassement minimal et garantissent des recettes de processus répétables sans intervention de l'opérateur.

Caractéristiques du produit :

• Système de contrôle de pression compact - vanne avec électronique de commande intégrée
            - Intégration facile, pas besoin de câbles supplémentaires ni d'espace de rack
• Configurations à grande vitesse disponibles (<250 ms. d'ouverture à fermeture)
            - Point de consigne et récupération plus rapides après des perturbations de débit et de pression
            - Permet un débit d'outil élevé
• Entraînements à couple élevé sélectionnables
          - Prolonge la disponibilité dans des conditions de processus difficiles
• Entrée de capteur Baratron® à double canal avec commutation automatique de plage
          - Prend en charge une large plage de contrôle de pression dynamique
          - Permet une précision de contrôle de pression élevée
• Algorithme avancé de contrôle de pression basé sur un modèle
          - Minimise le temps de réglage du point
          - Garantit des recettes de processus répétables sans intervention de l'opérateur
• Disponible en versions à faible conductivité et à joint souple
          - Prend en charge les processus haute pression même à faible débit (Epi, RTP, SACVD et plus)
          - Convient aux applications « d'échappement domestique » ou atmosphériques
• Fournit de l'énergie pour les manomètres à capacité Baratron connectés (en option, certains modèles)

Le papillon des gaz d'échappement T2BA peut fonctionner selon deux modes principaux : positionnement du clapet ou contrôle de la pression, l'un ou l'autre pouvant être activé par l'utilisateur via l'interface E/S. Tous les paramètres de configuration réglables, le fonctionnement en temps de fonctionnement et les informations de diagnostic sont disponibles via l'interface de communication. EtherCAT T2BA est entièrement compatible avec les manomètres EtherCAT. Les manomètres analogiques nécessitent une passerelle.

La technique de contrôle de la pression en aval offre une large plage dynamique, fonctionne avec tous les types de pompes, offre une réponse rapide et est tolérante à la plupart des gaz effluents. Le concept « d'instrument intelligent » permet de réaliser de précieuses économies d'espace dans le système, d'améliorer l'immunité au bruit et d'accéder facilement aux informations de processus et d'étalonnage critiques dans le temps, ainsi qu'aux fonctions de diagnostic intégrées.

Le T2BA utilise un moteur pas à pas à entraînement direct à grande vitesse. Le pilote de vanne fournit un contrôle de pression haute résolution. Le moteur à entraînement direct à couple élevé en option offre une disponibilité prolongée et prolonge les cycles de maintenance préventive, un avantage considérable dans les processus exigeants où une seule heure d'arrêt peut coûter des milliers de dollars. Le T2BA est également disponible en versions à engrenages, offrant un couple maximal et permettant un fonctionnement à long terme dans des environnements difficiles. Les vannes T2BA peuvent être chauffées en option jusqu'à 200 °C avec des réchauffeurs externes MKS disponibles (une sélection appropriée des matériaux d'étanchéité est requise).

Le T2BA est disponible dans des versions à faible conductance MKS uniques, permettant un contrôle de pression à grande vitesse dans les applications atmosphériques, y compris le contrôle de la pression d'échappement, le CVD et le RTP sans avoir besoin de s'appuyer sur des conceptions à base de joint torique pour minimiser la conductance de la vanne. Un système de rétroaction de position basé sur un encodeur est fourni à des fins de diagnostic. La vanne est construite en acier inoxydable 316 résistant à la corrosion, compatible avec la plupart des gaz de procédé et est disponible dans des styles de bride ISO standard avec des tailles d'alésage de 1" à 4" (tailles alternatives disponibles sur mesure). Les joints standards proposés sont en Viton®, des matériaux alternatifs peuvent être spécifiés pour la compatibilité avec divers procédés chimiques et/ou applications chauffées.