MKS シリーズ 225 自動ソフト スタート チェック バルブ - フロー作動式 - スプリング ローデッド - SS - バイトン - NW40 KF40 センタリング リング
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NW40 KF40 Viton センタリングリング - ステンレススチール
MKS シリーズ 225 オートソフトは、初期排気中に粗引きポンプのスロットル調整に使用されるフローアクチュエートチェックバルブです。オートソフトは、システム排気の開始時に非常に素早く閉じ、設定された圧力差に達すると自動的に開きます。これにより、ポンプラインはポンププロセスの残りの間開いたままになります。
これは、自動ソフトスタート用のシンプルな NW KF バルブフィッティングです。オートソフトバルブには、中心から外れた軸を中心に回転するベーンがあります。圧力差が十分に低い場合、一対のコイル スプリングがベーンを開いたままにします。粗引きシステムが作動すると、初期フローがベーン アセンブリを閉じ、粗引きポンプを自動的に絞ります。最初のポンプダウンは、ベーンの周囲の小さな開口部から行われます。これにより、有効なポンプ速度が低下し、乱流が最小限に抑えられ、ポンプダウン時間が長くなります。圧力差がスプリングによって決定されたレベルに達すると、スプリングがベーンを開き、完全なポンプ速度が回復します。
Auto-Soft を取り付ける場合は、十分なスペースが必要です。その量は仕様表に記載されています。ユーザーは、ベーンに隣接するタブを曲げることで、限られた範囲でバルブの閉コンダクタンスを調整できます。 Auto-Soft は、真空システムと粗引きバルブの間に取り付ける必要があります。Auto-Soft の前に汚染物質を捕捉すると、長寿命が保証されます。
機能と特徴利点:>
これは、自動ソフトスタート用のシンプルな NW KF バルブフィッティングです。オートソフトバルブには、中心から外れた軸を中心に回転するベーンがあります。圧力差が十分に低い場合、一対のコイル スプリングがベーンを開いたままにします。粗引きシステムが作動すると、初期フローがベーン アセンブリを閉じ、粗引きポンプを自動的に絞ります。最初のポンプダウンは、ベーンの周囲の小さな開口部から行われます。これにより、有効なポンプ速度が低下し、乱流が最小限に抑えられ、ポンプダウン時間が長くなります。圧力差がスプリングによって決定されたレベルに達すると、スプリングがベーンを開き、完全なポンプ速度が回復します。
Auto-Soft を取り付ける場合は、十分なスペースが必要です。その量は仕様表に記載されています。ユーザーは、ベーンに隣接するタブを曲げることで、限られた範囲でバルブの閉コンダクタンスを調整できます。 Auto-Soft は、真空システムと粗引きバルブの間に取り付ける必要があります。Auto-Soft の前に汚染物質を捕捉すると、長寿命が保証されます。
機能と特徴利点:>
- 通気中のシステム乱流を減らすことで、粒子汚染を減らします
- 基板の変位や破損を防ぎます
- 高価な圧力制御バイパス システムを置き換えます
- 電気不要 - フローで作動します
- 最大 10,000 サイクルで動作します
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