MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、246 または 247 コントローラーを 179 または GM50A マスフロー コントローラーに接続します (10 フィート (3 メートル))。PN: RCBDMFC-1-10

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MKS マスフロー コントローラー ケーブルは、246 または 247 コントローラーを 179 または GM50A マスフロー コントローラーに接続します。15 ピン タイプ D コネクター、長さ 10 フィート (3 m)。
MKS 部品番号: RCBDMFC-1-10。

MKS マスフロー コントローラ ケーブルは、179、258、358、558、1159、1162、1179、1259、1261、1359、1449、1459、1479、1559、1562、1679、2159、2162、2259、GE50A、GM50A、GM100A、IE50A、IM50A、P250A、IM250A、M10B、M100 マスフロー コントローラを、15 ピン タイプ D 高密度サブミニチュアから 15 ピン標準サブミニチュア コネクタを備えた 246、247、または 660 コントローラに接続します。これはケーブルのみです。

MKS 946 は、汎用性の高いハーフラックの真空ゲージ測定および制御システムで、最大 6 台の異なる真空ゲージおよび/または質量流量コントローラに電力を供給し、同時に読み取りを行うことができ、圧力を制御するオプションもあります。
電源/読み取りは、あらゆる流量トランスデューサを制御および表示できるように設計されています。流量設定ポイントは、フロント パネルのコントロールまたは背面パネルのアナログ インターフェイスからリモートで調整できます。946 真空システム コントローラは、6 チャンネル/順次選択可能な単一の読み取りです。質量流量コントローラおよび質量流量読み取りと互換性があります。MKS 946 の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。

246C-Manual.pdf (246C-Manual.pdf, 428 Kb) [ダウンロード]

247D-Manual.pdf (247D-Manual.pdf, 371 Kb) [ダウンロード]

MKS-g-I-seriesmfcs-man.pdf (MKS-g-I-seriesmfcs-man.pdf, 2,259 Kb) [ダウンロード]

GM50A-Series-Data-Sheet.pdf (GM50A-Series-Data-Sheet.pdf, 2,390 Kb) [ダウンロード]

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