MKS Instruments 290 高真空熱陰極イオンシングルゲージコントローラー
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これらの MKS Instruments 290 イオン ゲージ コントローラは、自動実行とプロセス制御を特徴としています。これらは、シングル イオン ゲージ チューブから 1x10-3 ～ 1x10-8 Torr までの高真空圧力を示すように設計された精密機器です。MKS 290 は、1 つのイオン ゲージ チューブから圧力を操作して表示できます。MKS 290 イオン ゲージ コントローラには、5 桁の高真空圧力でプロセス制御を提供する 2 つの独立したイオン化ゲージ設定ポイントがあります。基本ユニットは、電源、電位計、放出コントローラ、イオン ゲージ メーターで構成されています。これらの MKS Instruments 290 高真空イオンゲージ コントローラーは、115 VAC または 220 VAC で動作します。イオンゲージ ケーブルとイオンゲージ チューブは別売りです。
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