MKS HPS 系列 421 冷陰極電離高真空計控制器,翻新

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MKS HPS 系列 421 冷陰極電離真空計控制器翻新


這些 MKS HPS 系列 421 冷陰極電離真空計控制器基於微處理器,具有多功能性和附加功能。顏色編碼將開關位置與兩個按鈕開關的功能連結起來,使得控制器的大部分操作一目了然。 LCD 可以比典型的發光顯示器顯示更多資訊。它在各種照明條件下和寬視角下都可見。

控制器提供可透過後面板連接器存取的類比輸出訊號。 0 至 8 伏特(每十倍頻 1 伏特)訊號與 log 10 壓力成正比。為了使電腦能夠區分輸出為零的真空以及由於電源關閉或設備有缺陷而類比輸出為零的情況,如果需要,可以使用控制器內部的 DIP 開關選擇一伏偏移。這使得 1x 10-10 Torr 及以下的類比輸出等於 1。每次打開設備或切換到“測試”狀態時,它都會執行一系列測試以驗證操作是否正確。某些故障和控制器故障透過錯誤代碼顯示。也測試了顯示器所有元素的正確操作。控制單元的背面有 9 針 D-sub、SHV 和 SMA 連接器。 D-sub 連接器用於壓力輸出訊號和製程繼電器,而 SHV 和 SMA 分別將高壓和離子電流訊號連接到管子。 請參閱下面的可用下載部分,以了解 pdf 格式的 MKS HPS 421 使用者和操作手冊。

MKS-421-Cold-Cathode-Ionization-Gauge.pdf (MKS-421-Cold-Cathode-Ionization-Gauge.pdf, 2,181 Kb) [下載]

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