MKS HPS 999 Quattro 多感測器熱陰極感測器 KF 40,RS-232,大氣至 10

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<中心> MKS HPS® 系列 999 Quattro™ 多感測器熱陰極感測器,KF-40,RS232。 MKS 零件號 999-51

MKS HPS® 系列 999 Quattro™ 是終極感測器解決方案,提供壓力測量 從 10-10 Torr 到大氣,並結合大氣切換功能。四輪車 將 HPS 的三項關鍵技術整合到一個整合的儀表解決方案中,並具有以下功能 四個感測器整合在一個緊湊的封裝中。 Quattro 包括小型化熱陰極 電離感測器、基於 MEMS 的 MicroPirani™ 感測器和獨特的壓電感測器,提供 差分和絕對感測器功能。 需要電源和顯示器的客戶可以使用本網站上出售的 PDR900 系列控制器的 999。有關完整規格和操作信息,請參閱下載部分。


999QuattroDS.pdf (999QuattroDS.pdf, 563 Kb) [下載]

999manual.pdf (999manual.pdf, 365 Kb) [下載]

999_pinOut.pdf (999_pinOut.pdf, 164 Kb) [下載]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [下載]

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