MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 絕對壓電感測器 KF16 RS485，10-5 至 1500 Torr 910-12030
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MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 絕對壓電感測器，KF16，RS485，PN 910-12030
910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute 壓電真空感測器專為大範圍壓力測量應用而設計，並配有尺寸為 NW16 ISO-KF 的法蘭接頭。與傳統熱導率計相比，組合輸出可提供顯著更高的精度、穩定性、可重複性和更快的反應時間。 910 結合了兩種壓力測量技術，提供卓越的性能和功能。 910 提供 11 至 1500 Torr 範圍內的獨立於氣體的絕對壓力測量，其精度比熱導率感測器更高。與傳統的皮拉尼真空計不同，MicroPirani 中的感測器元件由一毫米見方的矽晶片製成，允許在非常小的體積內進行測量。由於採用了 MicroPirani 技術，910 可以讀取低至 10-5 Torr 的壓力，比標準 Pirani 感測器低二十個百分點。感測器設計最大限度地減少了對流的影響，因此 910 可以以任何方向安裝，而不會影響精度。
Piezo 是一款絕對壓力感測器，可提供直接壓力讀數，從而實現獨立於氣體的測量。壓電感測器的測量範圍為小於 1 Torr 至 1500 Torr。 910 具有 RS485 數位通訊接口，用於設定感測器參數並提供即時壓力測量。 910 還具有 1VDC/十倍頻的類比壓力輸出，可連接到外部類比設備以進行壓力讀取或控制。其他類比輸出和曲線可以透過數位使用者介面選擇。 910 具有三個可用於製程控制的機械繼電器，例如聯鎖隔離閥和真空幫浦。每個設定點可分配給壓電測量或組合的絕對 MicroPirani/壓電測量。 910 緊湊的設計顯著減少了真空計所佔用的空間。這對於系統設計者來說特別有吸引力，並且可以實現更緊湊的真空系統。
Piezo 是一款絕對壓力感測器，可提供直接壓力讀數，從而實現獨立於氣體的測量。壓電感測器的測量範圍為小於 1 Torr 至 1500 Torr。 910 具有 RS485 數位通訊接口，用於設定感測器參數並提供即時壓力測量。 910 還具有 1VDC/十倍頻的類比壓力輸出，可連接到外部類比設備以進行壓力讀取或控制。其他類比輸出和曲線可以透過數位使用者介面選擇。 910 具有三個可用於製程控制的機械繼電器，例如聯鎖隔離閥和真空幫浦。每個設定點可分配給壓電測量或組合的絕對 MicroPirani/壓電測量。 910 緊湊的設計顯著減少了真空計所佔用的空間。這對於系統設計者來說特別有吸引力，並且可以實現更緊湊的真空系統。
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