MKS HPS 909AR 数字和模拟热阴极传感器 KF-40，RS-232，10-10 至 10-2 Torr

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MKS HPS® 系列 909AR 数字和模拟热阴极传感器，KF-40，RS-232 PN 909AR-51

HPS® 热阴极传感器为 Bayard-Alpert 式，采用位于网格中心的细线收集器。由于其面积小，很少有 x 射线击中收集器；因此，仪表可以测量非常低的压力。909AR 传感器包括两个氧化钇涂层铱丝，可减少停机时间。氧化钇涂层铱可抵抗高氧分压和暴露在大气中造成的损坏。管式传感器在较低温度下运行，化学反应速率较低，热干扰最小。传感器包括一个屏幕，用于保护其免受大颗粒的影响。 909AR 系列包括 RS232 或 RS485 数字通信作为标准功能。

数字通信允许通过主机实时进行所有调整和监控。对于额外的过程控制，909AR 具有继电器设定点。设定点压力、滞后和方向都可以通过数字端口进行调整和监控。 909AR 系列还具有模拟控制和模拟输出，具有 0 至 10 伏半对数输出，每十年 1 伏，以简化系统集成。需要电源和显示器的客户可以将 909AR 与本网站上销售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。

选项、(PN) 部件编号和价格：MKS HPS® 系列 909AR 数字和模拟热阴极传感器

CF 1.33，RS-232，
PN 909AR-11，2009 年价格 1221 美元
CF 1.33，RS-485，
PN 909AR-12，2009 年价格 1221 美元
CF 2.75，RS-232，
PN 909AR-21，2009 年价格 1234 美元
CF 2.75，RS-485，
PN 909AR-22，2009 年价格 1234 美元
KF 16，RS-232，
PN 909AR-31，2009 年价格 1202 美元
KF 16，RS-485，
PN 909AR-32，2009 年价格 1202 美元
KF 25，RS-232，
PN 909AR-41，2009 年价格 1214 美元
KF 25，RS-485，
PN 909AR-42，2009 年价格 1214 美元
KF 40，RS-232，
PN 909AR-51，2009 年价格 1221 美元
KF 40，RS-485，
PN 909AR-52，2009 年价格 1221 美元

所有价格如有变动，恕不另行通知。

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909AR_manual.pdf (909AR_manual.pdf, 230 Kb) [下载]

909AR_pinOut_.pdf (909AR_pinOut_.pdf, 201 Kb) [下载]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [下载]