MKS HPS 901P Plus MicroPirani 压电式负载锁真空传感器 NW25，10-5 至 1000 Torr

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MKS HPS® 系列 901P Plus MicroPirani™ 压电式预真空传感器 ISO-KF NW 25，RS-232 PN 901P-21030

MKS HPS® 系列 901P Plus 传感器具有组合传感器输出，测量范围从 1x10^-5 到 1,000 Torr，用于监测抽空循环。这款独特的专利传感器专为预真空环境而设计，901 Plus (901P) 在一个紧凑型封装中可替代多达三个传感器。901P 通过集成 MicroPirani™ 和压电传感器技术，提供压力测量和大气切换功能。差分传感器可确保在不同气压条件下准确感测大气压力，从而实现最佳的负载锁性能。需要电源和显示器的客户可以将 901P 与本网站上销售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。

MKS HPS® 系列 901P Plus MicroPirani™ 压电式 Loadlock 真空传感器
选项，零件编号 (PN)：
ISO-KF NW 16，RS-232
PN 901P-11030
ISO-KF NW 16，RS-485
PN 901P-12030
ISO-KF NW 25，RS-232
PN 901P-21030
ISO-KF NW 25，RS-485
PN 901P-22030
4 VCR-F，RS-232
PN 901P-41030
4 VCR-F，RS-485
PN 901P-42030
8 VCR-F，RS-232
PN 901P-51030
8 VCR-F，RS-485
PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 EXT，RS-232
PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 EXT，RS-485
PN 901P-82030

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901manual.pdf (901manual.pdf, 5,330 Kb) [下载]

901_pinOut_2.pdf (901_pinOut_2.pdf, 263 Kb) [下载]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [下载]