MKS HPS 901P Plus MicroPirani Piezo Loadlock 진공 트랜스듀서 NW25, 10-5 ~ 1000 Torr

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MKS HPS® 시리즈 901P 플러스 MicroPirani™ 피에조 로드록 진공 트랜스듀서 ISO-KF NW 25, RS-232 PN 901P-21030

MKS HPS® 시리즈 901P 플러스 트랜스듀서는 펌프 다운 사이클을 모니터링하기 위해 1x10^-5에서 1,000 Torr까지 측정하는 결합 센서 출력을 제공합니다. 이 고유한 특허 트랜스듀서는 로드록 환경을 위해 특별히 설계되었으며, 901 플러스(901P)는 하나의 컴팩트한 패키지에서 최대 3개의 센서를 대체합니다. 901P는 MicroPirani™ 및 피에조 센서 기술을 통합하여 압력 측정 및 대기 전환 기능을 모두 제공합니다. 차동 센서는 다양한 기압 조건에서 정확한 대기압 감지를 보장하여 최적의 로드록 성능을 제공합니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 901P를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다.

MKS HPS® 시리즈 901P 플러스 MicroPirani™ 피에조 로드록 진공 트랜스듀서
옵션, 부품 번호(PN):
ISO-KF NW 16, RS-232
PN 901P-11030
ISO-KF NW 16, RS-485
PN 901P-12030
ISO-KF NW 25, RS-232
PN 901P-21030
ISO-KF NW 25, RS-485
PN 901P-22030
4 VCR-F, RS-232
PN 901P-41030
4 VCR-F, RS-485
PN 901P-42030
8 VCR-F, RS-232
PN 901P-51030
8 VCR-F, RS-485
PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 EXT, RS-232
PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 EXT, RS-485
PN 901P-82030

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901_pinOut_2.pdf (901_pinOut_2.pdf, 263 Kb) [다운로드]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [다운로드]