Transducteur de vide piézoélectrique MKS HPS 901P Plus MicroPirani Loadlock NW25, 10-5 à 1000 Torr

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Transducteur de vide piézoélectrique pour sas de chargement MKS HPS® série 901P Plus MicroPirani™ ISO-KF NW 25, RS-232 PN 901P-21030

Le transducteur MKS HPS® série 901P Plus dispose d'une sortie de capteur combinée qui mesure de 1x10^-5 à 1 000 Torr pour la surveillance des cycles de pompage. Ce transducteur breveté unique est conçu spécifiquement pour l'environnement de sas de chargement, le 901 Plus (901P) remplace jusqu'à trois capteurs dans un seul boîtier compact. Le 901P offre à la fois des capacités de mesure de pression et de commutation atmosphérique, en intégrant les technologies de capteurs MicroPirani™ et piézo. Le capteur différentiel assure une détection précise de la pression atmosphérique dans des conditions de pression barométrique variables, pour des performances de verrouillage de charge optimales. Les clients nécessitant à la fois une alimentation et un écran peuvent utiliser le 901P avec le contrôleur de la série PDR900 vendu sur ce site Web. Pour obtenir des spécifications complètes et des informations sur le fonctionnement, consultez les TÉLÉCHARGEMENTS DISPONIBLES ci-dessous.

Les spécifications et les prix sont susceptibles d'être modifiés sans préavis. HPS® et MicroPirani™ sont des marques déposées de MKS Instruments, Inc.

Transducteur de vide piézoélectrique à verrouillage de charge MKS HPS® série 901P Plus MicroPirani™
Options, numéro de pièce (PN) :
ISO-KF NW 16, RS-232
PN 901P-11030
ISO-KF NW 16, RS-485
PN 901P-12030
ISO-KF NW 25, RS-232
PN 901P-21030
ISO-KF NW 25, RS-485
PN 901P-22030
4 magnétoscopes-F, RS-232
PN 901P-41030
4 magnétoscopes-F, RS-485
PN 901P-42030
8 magnétoscopes-F, RS-232
PN 901P-51030
8 magnétoscopes-F, RS-485
PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 EXT, RS-232
PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 EXT, RS-485
PN 901P-82030

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901manual.pdf (901manual.pdf, 5,330 Kb) [Télécharger]

901_pinOut_2.pdf (901_pinOut_2.pdf, 263 Kb) [Télécharger]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [Télécharger]