MKS HPS 901P Plus マイクロピラニピエゾロードロック真空トランスデューサー NW25、10-5 ～ 1000 Torr

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MKS HPS® シリーズ 901P Plus MicroPirani™ ピエゾロードロック真空トランスデューサー ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030

MKS HPS® シリーズ 901P Plus トランスデューサーには、ポンプダウンサイクルを監視するために 1x10^-5 ～ 1,000 Torr を測定する複合センサー出力があります。この独自の特許取得済みトランスデューサーはロードロック環境向けに特別に設計されており、901 Plus (901P) は 1 つのコンパクトなパッケージで最大 3 つのセンサーを置き換えます。901P は、MicroPirani™ とピエゾセンサー技術を統合することで、圧力測定と大気圧切り替えの両方の機能を提供します。差動センサーは、変化する気圧条件下でも正確な気圧検知を保証し、ロードロックの性能を最適化します。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズコントローラーで 901P を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。

仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は、MKS Instruments, Inc. の登録商標です。

MKS HPS® シリーズ 901P Plus MicroPirani™ ピエゾロードロック真空トランスデューサー
オプション、部品番号 (PN):
ISO-KF NW 16、RS-232
PN 901P-11030
ISO-KF NW 16、RS-485
PN 901P-12030
ISO-KF NW 25、RS-232
PN 901P-21030
ISO-KF NW 25、RS-485
PN 901P-22030
4 VCR-F、RS-232
PN 901P-41030
4 VCR-F、RS-485
PN 901P-42030
8 VCR-F、RS-232
PN 901P-51030
8 VCR-F、RS-485
PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 EXT、RS-232
PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 EXT、RS-485
PN 901P-82030

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901manual.pdf (901manual.pdf, 5,330 Kb) [ダウンロード]

901_pinOut_2.pdf (901_pinOut_2.pdf, 263 Kb) [ダウンロード]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [ダウンロード]