MKS HPS 423 I-Mag 冷阴极真空计传感器 NW25 KF25。PN:104230004
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MKS 部件编号:104230004
使用倒置磁控管设计,423 I-Mag® 传感器可以在比传统 Penning 冷阴极传感器低得多的压力下工作,使用适当的控制器时压力可低至 10-11 Torr。这种增加的压力范围使 HPS® 冷阴极传感器成为 UHV 使用的理想选择。HPS® 冷阴极传感器的独特设计特点是用于离子收集的第二个馈通。在普通的单馈通设计中,阳极和接地之间的任何电流泄漏都会导致压力测量误差。在双馈通设计中,只有来自阴极的离子电流才会对测量读数产生影响,这使其成为过程监控的理想选择。
由于没有灯丝烧坏,423 I-Mag® 传感器不会因突然涌入的空气而损坏,并且能够抵抗振动损坏。此外,无需调整发射电流或对仪表进行脱气,从而缩短了对压力变化的响应时间。如果需要烘烤,可以移除磁铁和传感器连接器,并将传感器烘烤至 400°C。
这仅仅是冷阴极传感器,该装置的 MKS 信号线和 MKS 943 控制器在此网站上单独出售。完整的规格手册和操作手册可在下方以 PDF 格式下载。
由于没有灯丝烧坏,423 I-Mag® 传感器不会因突然涌入的空气而损坏,并且能够抵抗振动损坏。此外,无需调整发射电流或对仪表进行脱气,从而缩短了对压力变化的响应时间。如果需要烘烤,可以移除磁铁和传感器连接器,并将传感器烘烤至 400°C。
这仅仅是冷阴极传感器,该装置的 MKS 信号线和 MKS 943 控制器在此网站上单独出售。完整的规格手册和操作手册可在下方以 PDF 格式下载。
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