MKS HPS 423 I-Mag 冷陰極真空計感知器 NW25 KF25。編號:104230004

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<中心> MKS HPS® 423 I-Mag® 感知器冷陰極真空計 KF25、NW25,與 MKS 943 冷陰極真空控制器相容。
MKS 零件號碼:104230004
423 I-Mag® 感測器採用倒置磁控管設計,可在比傳統潘寧冷陰極感測器低得多的壓力下工作,使用適​​當的控制器可低至 10-11 Torr。這種增加的壓力範圍使 HPS® 冷陰極感測器非常適合 UHV 使用。 HPS® 冷陰極感測器的一個獨特設計特點是用於離子收集的第二個饋通。在普通的單饋通設計中,陽極和接地之間的任何電流洩漏都會導致壓力測量誤差。在雙饋通設計中,只有來自陰極的離子電流才有助於測量讀數,使其成為製程監控的理想選擇。

423 I-Mag® 感知器不會燒壞燈絲,因此不會被突然湧入的空氣損壞,並且能夠抵抗振動損壞。此外,無需調整發射電流或對儀表進行脫氣,從而縮短了對壓力變化的反應時間。如果需要烘烤,可以拆下磁鐵和感測器連接器,並將感測器烘烤至 400°C。
這只是一個冷陰極感測器,該裝置的 MKS 訊號電纜和 MKS 943 控制器在本網站上單獨出售。完整的規格手冊和操作手冊可在下面以 PDF 格式下載。

MKS-423-I-Mag-manual.pdf (MKS-423-I-Mag-manual.pdf, 191 Kb) [下載]

MKS_943-manual.pdf (MKS_943-manual.pdf, 603 Kb) [下載]

MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf (MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf, 3,070 Kb) [下載]

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