MKS HPS 423 I-Mag 콜드 캐소드 진공 게이지 센서 NW25 KF25. PN: 104230004
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MKS 부품 번호: 104230004
역 마그네트론 설계를 사용하여 423 I-Mag® 센서는 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 페닝 콜드 캐소드 센서보다 훨씬 낮은 압력에서 작동할 수 있으며, 10-11 Torr까지 낮출 수 있습니다. 이렇게 압력 범위가 확대되어 HPS® 콜드 캐소드 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 콜드 캐소드 센서의 고유한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서 애노드와 접지 사이의 전류 누설은 압력 측정 오류를 초래합니다. 듀얼 피드스루 설계에서는 캐소드의 이온 전류만 측정 판독에 기여하므로 프로세스 모니터링에 이상적입니다.
423 I-Mag® 센서는 타버릴 필라멘트가 없으므로 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지를 탈기할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 반응 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C로 베이크할 수 있습니다.
이것은 냉음극 센서 전용이며, 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 작동 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.
423 I-Mag® 센서는 타버릴 필라멘트가 없으므로 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지를 탈기할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 반응 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C로 베이크할 수 있습니다.
이것은 냉음극 센서 전용이며, 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 작동 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.
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