MKS HPS 423 I-Mag 冷陰極真空計センサー NW25 KF25。PN: 104230004
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MKS 部品番号: 104230004
反転マグネトロン設計を採用した 423 I-Mag® センサーは、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力で動作でき、適切なコントローラーを使用すれば 10-11 Torr まで低圧で動作できます。この圧力範囲の拡大により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適です。HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集用の 2 番目のフィードスルーです。通常のシングル フィードスルー設計では、アノードとグランド間の電流漏れがあると、圧力測定エラーが発生します。デュアル フィードスルー設計では、カソードからのイオン電流のみが測定に寄与するため、プロセス監視に最適です。
423 I-Mag® センサーは、燃え尽きるフィラメントがないため、突然の空気の流入によって損傷を受けることがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージからガスを抜く必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C までベークできます。
これは冷陰極センサーのみで、このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーは、この Web サイトで別売りされています。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
423 I-Mag® センサーは、燃え尽きるフィラメントがないため、突然の空気の流入によって損傷を受けることがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージからガスを抜く必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C までベークできます。
これは冷陰極センサーのみで、このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーは、この Web サイトで別売りされています。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
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