MKS HPS 423 I-Mag 冷陰極真空計感知器 CF 2.75 入口。編號：104230002

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MKS HPS 423 I-Mag 感知器冷陰極真空計 Conflat 2.75 入口。
MKS 零件號：104230002 （與 MKS 943 冷陰極真空控制器相容）

423 I-Mag 感測器採用倒置磁控管設計，可在比傳統 Penning 冷陰極感測器低得多的壓力下工作，低至 10^-11 Torr，適當的控制器。這種增加的壓力範圍使得 HPS 冷陰極感測器非常適合 UHV 使用。 HPS 冷陰極感測器的一個獨特設計特徵是用於離子收集的第二個饋通。在普通的單饋通設計中，陽極和接地之間的任何電流洩漏都會導致壓力測量誤差。在雙饋通設計中，只有來自陰極的離子電流才有助於測量讀數，使其成為製程監控的理想選擇。

423 I-Mag 感知器不會燒壞燈絲，因此不會因突然湧入的空氣而損壞，並且能夠抵抗振動損壞。此外，無需調整發射電流或對儀表進行脫氣，從而縮短了對壓力變化的反應時間。如果需要烘烤，可以拆下磁鐵和感測器連接器，並將感測器烘烤至 400°C。這是一款全新的冷陰極感測器，僅此裝置的 MKS 訊號電纜和 MKS 943 控制器在本網站上單獨出售。完整的規格手冊和操作手冊可在下面以 PDF 格式下載。

MKS-423-I-Mag-manual.pdf (MKS-423-I-Mag-manual.pdf, 191 Kb) [下載]

MKS_943-manual.pdf (MKS_943-manual.pdf, 603 Kb) [下載]

MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf (MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf, 3,070 Kb) [下載]