MKS HPS 423 I-Mag 冷陰極真空計センサー CF 2.75 インレット。PN: 104230002
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MKS 部品番号: 104230002。 (MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性あり)
反転マグネトロン設計を採用した 423 I-Mag センサーは、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力で動作できます。適切なコントローラーを使用すれば、最低 10-11 Torr まで動作します。この圧力範囲の拡大により、HPS 冷陰極センサーは UHV での使用に最適です。HPS 冷陰極センサーのユニークな設計機能は、イオン収集用の 2 番目のフィードスルーです。通常のシングル フィードスルー設計では、アノードとグランド間の電流漏れにより圧力測定エラーが発生します。デュアル フィードスルー設計では、カソードからのイオン電流のみが測定に寄与するため、プロセス監視に最適です。
423 I-Mag センサーは、燃え尽きるフィラメントがないため、突然の空気の流入によって損傷を受けることがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージからガスを抜く必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C までベークできます。 これは新品の冷陰極センサーです。このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーのみがこの Web サイトで別売りされています。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
423 I-Mag センサーは、燃え尽きるフィラメントがないため、突然の空気の流入によって損傷を受けることがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージからガスを抜く必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C までベークできます。 これは新品の冷陰極センサーです。このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーのみがこの Web サイトで別売りされています。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
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