MKS HPS 317 대류 강화 피라니 진공 센서 Conflat CF 2.75인치. PN: 103170014SH
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MKS 부품 번호: 103170014SH.
MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공하며 MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 진공에 노출되는 유일한 재료가 스테인리스 스틸, 니켈, 유리 및 백금이므로 센서는 광범위한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 애플리케이션에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에서 모든 판독 편차를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위에서 측정하고 공정 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화
Pirani 센서의 측정 상한은 기존 Pirani 센서보다 0.001에서 1,000 Torr로 증가했습니다. 이 더 높은 한계는 대기에서 기저 압력으로 진공 시스템의 펌핑다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C에서 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다.
모든 열 전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능은 진공 시스템에서 중간에서 미세한 누출을 찾는 간단한 솔루션입니다. 더 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석기 누출 감지기를 보완합니다. RF 노이즈로부터 차폐된 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구울 수 있습니다. 이 317 센서에는 이 CF 2.75 Conflat 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함됩니다. 이 센서의 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서 판매되는 Series 947 Convection Pirani Vacuum Gauge Controller와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.
모든 열 전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능은 진공 시스템에서 중간에서 미세한 누출을 찾는 간단한 솔루션입니다. 더 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석기 누출 감지기를 보완합니다. RF 노이즈로부터 차폐된 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구울 수 있습니다. 이 317 센서에는 이 CF 2.75 Conflat 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함됩니다. 이 센서의 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서 판매되는 Series 947 Convection Pirani Vacuum Gauge Controller와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 설명서는 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.
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