MKS HPS 317 对流增强型皮拉尼真空传感器 Conflat CF 2.75 英寸。PN：103170014SH
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MKS 部件编号：103170014SH。
MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠、稳定的压力测量，与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力计控制器兼容。由于暴露在真空中的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适用于超高真空应用。铂丝可有效消除对流传感器更高测量范围内的任何读数差异。317 传感器比热电偶传感器更精确，可在更宽的压力范围内进行测量，并且对过程压力变化的响应更快。对流增强型
Pirani 传感器的测量上限比传统 Pirani 传感器高出 0.001 至 1,000 Torr。此上限在监测真空系统从大气压到基准压力的抽真空时非常有用。传感器可补偿室温在 10° 至 50°C 范围内的任何变化。
与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中中等至细小泄漏的简单解决方案。它与质谱泄漏检测器相得益彰，后者在查找较小泄漏方面效率更高。该传感器可抵御射频噪声，符合 CE 标志要求，可烘烤至 100°C。此 317 传感器包括标准真空连接，例如此 CF 2.75 Conflat 法兰。此传感器的电缆不包括在内，但有标准的 10 英尺长度可供选择。317 传感器可与本网站上销售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。 完整的规格手册和操作手册可在下方以 PDF 格式下载。
与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中中等至细小泄漏的简单解决方案。它与质谱泄漏检测器相得益彰，后者在查找较小泄漏方面效率更高。该传感器可抵御射频噪声，符合 CE 标志要求，可烘烤至 100°C。此 317 传感器包括标准真空连接，例如此 CF 2.75 Conflat 法兰。此传感器的电缆不包括在内，但有标准的 10 英尺长度可供选择。317 传感器可与本网站上销售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。 完整的规格手册和操作手册可在下方以 PDF 格式下载。
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