MKS HPS 317 對流增強型皮拉尼真空感測器 Conflat CF 2.75 吋。編號：103170014SH
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MKS HPS® 系列 317 對流增強型皮拉尼真空感測器具有 0.001 至 1000 Torr、Conflat CF 2.75 吋。
MKS 零件號碼：103170014SH。
MKS HPS® 317 對流增強型皮拉尼感測器以極低的成本提供可靠且穩定的壓力測量，與 MKS 947 對流增強型皮拉尼壓力表控制器相容。由於暴露於真空的唯一材料是不銹鋼、鎳、玻璃和鉑，因此該感測器與多種製程氣體相容，特別適合 UHV 應用。鉑絲有效地消除了對流感測器較高測量範圍內的任何讀數差異。 317 感測器比熱電偶感測器更準確，可在更寬的壓力範圍內進行測量，並對製程壓力變化做出更快的反應。對流增強型的測量上限
皮拉尼感測器比傳統皮拉尼感測器從 0.001 托增加到 1,000 托。當監測真空系統從大氣壓力到基礎壓力的抽氣時，這個較高的限制非常有用。此感測器可補償 10° 至 50°C 範圍內的室溫變化。
與所有熱導率感測器一樣，317 感測器天生對氣體類型敏感。此功能使其成為定位真空系統中的中度到細微洩漏的簡單解決方案。它是質譜檢漏儀的補充，可以更有效地發現較小的洩漏。此感測器具有屏蔽射頻雜訊功能，符合 CE 標誌要求，可烘烤至 100°C。此 317 感測器包括標準真空連接件，例如 CF 2.75 Conflat 法蘭。此感測器的電纜不包括在內，但提供標準 10 英尺長度。 317 感測器可與該網站上出售的 947 系列對流皮拉尼真空計控制器一起使用。 完整的規格手冊和操作手冊可在下面以 PDF 格式下載。
MKS 零件號碼：103170014SH。
與所有熱導率感測器一樣，317 感測器天生對氣體類型敏感。此功能使其成為定位真空系統中的中度到細微洩漏的簡單解決方案。它是質譜檢漏儀的補充，可以更有效地發現較小的洩漏。此感測器具有屏蔽射頻雜訊功能，符合 CE 標誌要求，可烘烤至 100°C。此 317 感測器包括標準真空連接件，例如 CF 2.75 Conflat 法蘭。此感測器的電纜不包括在內，但提供標準 10 英尺長度。 317 感測器可與該網站上出售的 947 系列對流皮拉尼真空計控制器一起使用。 完整的規格手冊和操作手冊可在下面以 PDF 格式下載。
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