MKS HPS 317 対流強化ピラニ真空センサー Conflat CF 1.33 インチ。PN: 103170013SH
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MKS 部品番号: 103170013SH。
MKS HPS® 317 対流強化ピラニセンサーは、非常に低コストで信頼性が高く安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化ピラニゲージコントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、センサーはさまざまなプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーの高測定範囲全体にわたって読み取り値のばらつきを効果的に排除します。 317 センサーは、熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲で測定し、プロセス圧力の変化に迅速に反応します。 対流強化ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーよりも 0.001 ～ 1,000 Torr 高くなっています。 この高い制限は、真空システムの大気圧からベース圧力へのポンプダウンを監視するときに役立ちます。 このセンサーは、室温の 10° ～ 50°C の範囲の変化を補正します。
すべての熱伝導センサーと同様に、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。 この機能により、真空システムで中程度から微細な漏れを見つけるためのシンプルなソリューションになります。 質量分析計の漏れ検出器を補完し、より小さな漏れをより効率的に検出します。このセンサーは RF ノイズから保護されており、CE マークの要件を満たし、100°C まで加熱できます。この 317 センサーには、この CF 1.33 インチ Mini-CF フランジ フィッティングなどの標準真空接続が含まれています。このセンサーのケーブルは付属していませんが、標準の 10 フィートの長さで入手できます。317 センサーは、この Web サイトで販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと一緒に使用できます。 完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
すべての熱伝導センサーと同様に、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。 この機能により、真空システムで中程度から微細な漏れを見つけるためのシンプルなソリューションになります。 質量分析計の漏れ検出器を補完し、より小さな漏れをより効率的に検出します。このセンサーは RF ノイズから保護されており、CE マークの要件を満たし、100°C まで加熱できます。この 317 センサーには、この CF 1.33 インチ Mini-CF フランジ フィッティングなどの標準真空接続が含まれています。このセンサーのケーブルは付属していませんが、標準の 10 フィートの長さで入手できます。317 センサーは、この Web サイトで販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと一緒に使用できます。 完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
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