MKS HPS 317 对流增强型皮拉尼传感器 KF16 NW16 103170010SH
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MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠、稳定的压力测量。
由于唯一暴露在真空中的材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适用于 UHV 应用。铂丝可有效消除对流传感器更高测量范围内的任何读数差异。
317 传感器比热电偶传感器更精确，测量压力范围更广，对过程压力变化的响应更快。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器高，从 100 Torr 增加到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基准压力的抽真空时，这个更高的上限很有用。传感器可补偿室温在 10° 至 50°C 范围内的任何变化。
与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中中等至细小泄漏的简单解决方案。它与质谱泄漏检测器相得益彰，后者在查找较小泄漏方面更有效。该传感器可抵御射频噪声，符合 CE 标志要求，可烘烤至 100°C。此 317 传感器包括标准真空连接，例如 KF16 NW16 法兰。此传感器的电缆不包括在内，但有标准的 10 英尺长度。317 传感器可与本网站上销售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下方以 PDF 格式下载。
与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中中等至细小泄漏的简单解决方案。它与质谱泄漏检测器相得益彰，后者在查找较小泄漏方面更有效。该传感器可抵御射频噪声，符合 CE 标志要求，可烘烤至 100°C。此 317 传感器包括标准真空连接，例如 KF16 NW16 法兰。此传感器的电缆不包括在内，但有标准的 10 英尺长度。317 传感器可与本网站上销售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下方以 PDF 格式下载。
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