MKS HPS 317 對流增強型皮拉尼感測器 KF16 NW16 103170010SH

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MKS HPS® 系列 317 對流增強型皮拉尼感測器 KF16 NW16 (PN 103170010SH)（與 MKS 947 對流增強型皮拉尼儀表控制器相容）

MKS HPS® 317 對流增強型皮拉尼感測器以極低的成本提供可靠、穩定的壓力測量。由於唯一暴露於真空的材質是不銹鋼此感測器與多種製程氣體相容，特別適合鋼、鎳、玻璃和鉑適用於特高壓應用。鉑絲有效消除整個對流過程中的任何讀數差異感測器的測量範圍更高。 317 比熱電偶感測器更準確感測器測量更廣泛的壓力範圍對製程壓力變化的反應更快。對流增強型的測量上限皮拉尼感測器比傳統皮拉尼感測器從 100 Torr 增加到 1,000 Torr。當監測真空系統從大氣壓力到基礎壓力的抽氣時，這個較高的限制非常有用。感測器補償對於室溫的任何變化範圍 10° 至 50°C。

與所有熱導感測器一樣，317 感測器天生對氣體類型敏感。這個功能使它變得簡單用於定位真空系統中的中度到細微洩漏的解決方案。它補充了質譜儀檢漏儀，這可以更有效地發現較小的洩漏。此感測器具有屏蔽射頻雜訊功能，符合 CE 標準標記要求並可烘烤至100°C。該 317 感測器包括標準真空連接，例如 KF16 NW16 法蘭。此感測器的電纜不包括在內，但提供標準 10 英尺長度。這 317 感測器可與 947 系列一起使用對流皮拉尼真空計控制器也在此網站上銷售。完整的規格手冊和操作手冊可在下面以 PDF 格式下載。

MKS_947ConvectionPiraniGuage.pdf (MKS_947ConvectionPiraniGuage.pdf, 508 Kb) [下載]

MKS_947_Operation_and_Maintenace_Manual.pdf (MKS_947_Operation_and_Maintenace_Manual.pdf, 433 Kb) [下載]