MKS HPS 317 対流強化ピラニセンサー KF16 NW16 103170010SH
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MKS HPS® 317 対流強化ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性が高く安定した圧力測定を提供します。
真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーはさまざまなプロセス ガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーの高測定範囲全体で読み取り値のばらつきを効果的に排除します。
317 センサーは熱電対センサーよりも精度が高く、より広い圧力範囲で測定し、プロセス圧力の変化にすばやく反応します。対流強化ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーよりも 100 Torr から 1,000 Torr に引き上げられています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、室温の 10° ～ 50°C の範囲の変化を補正します。
すべての熱伝導センサーと同様に、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムで中程度から微細な漏れを見つけるためのシンプルなソリューションになります。 質量分析計の漏れ検出器を補完し、より小さな漏れをより効率的に検出します。 RF ノイズから保護されたセンサーは、CE マーク要件を満たし、100°C までベーキングできます。 この 317 センサーには、KF16 NW16 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサーのケーブルは付属していませんが、標準の 10 フィートの長さで入手できます。317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと一緒に使用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
すべての熱伝導センサーと同様に、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムで中程度から微細な漏れを見つけるためのシンプルなソリューションになります。 質量分析計の漏れ検出器を補完し、より小さな漏れをより効率的に検出します。 RF ノイズから保護されたセンサーは、CE マーク要件を満たし、100°C までベーキングできます。 この 317 センサーには、KF16 NW16 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサーのケーブルは付属していませんが、標準の 10 フィートの長さで入手できます。317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと一緒に使用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。
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