시리즈 937B 및 946 진공 게이지 컨트롤러용 MKS 하프 랙 장착 키트. PN: RM-13

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시리즈 937B 및 946 진공 게이지 컨트롤러용 MKS 하프 랙 장착 키트.
MKS 부품 번호: RM-13.

MKS 하프 랙 장착 키트는 시리즈 937B 및 946 진공 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 이것은 하드웨어 전용입니다.

MKS 946은 다재다능한 하프 랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 최대 6개의 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독을 제공하며, 압력 제어 옵션도 있습니다.
전원 공급 장치/판독 장치는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6채널/순차 선택 가능한 단일 판독기입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독기와 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

937B-Manual.pdf (937B-Manual.pdf, 3,035 Kb) [다운로드]

937B-data-sheet.pdf (937B-data-sheet.pdf, 918 Kb) [다운로드]

946-Manual.pdf (946-Manual.pdf, 1,842 Kb) [다운로드]

946-DataSheet.pdf (946-DataSheet.pdf, 427 Kb) [다운로드]

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