MKS ハーフラックマウントキット、シリーズ 937B および 946 真空ゲージコントローラ用。PN: RM-13
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MKS 部品番号: RM-13。
MKS ハーフラックマウントキットは、シリーズ 937B および 946 真空ゲージコントローラと互換性があります。これはハードウェアのみです。
MKS 946 は、汎用ハーフラック真空ゲージ測定および制御システムで、最大 6 台の異なる真空ゲージおよび/または質量流量コントローラに電力を供給し、同時に読み取りを行います。圧力を制御するオプションもあります。
電源/読み取りは、あらゆる流量トランスデューサを制御および表示するように設計されています。流量設定ポイントは、フロントパネルのコントロールまたはリアパネルのアナログインターフェイスを介してリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネル/順次選択可能な単一の読み取り装置です。質量流量コントローラーおよび質量流量読み取り装置と互換性があります。MKS 946 用の信号ケーブルはこの Web サイトで入手できます。
MKS 946 は、汎用ハーフラック真空ゲージ測定および制御システムで、最大 6 台の異なる真空ゲージおよび/または質量流量コントローラに電力を供給し、同時に読み取りを行います。圧力を制御するオプションもあります。
電源/読み取りは、あらゆる流量トランスデューサを制御および表示するように設計されています。流量設定ポイントは、フロントパネルのコントロールまたはリアパネルのアナログインターフェイスを介してリモートで調整できます。 946 真空システム コントローラーは、6 チャンネル/順次選択可能な単一の読み取り装置です。質量流量コントローラーおよび質量流量読み取り装置と互換性があります。MKS 946 用の信号ケーブルはこの Web サイトで入手できます。
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