MKS Granville Phillips プロセス制御モジュール、GP 370 真空ゲージ コントローラー用の 6 つの設定ポイント。PN: 370107
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MKS Granville Phillips 部品番号: 370107
これは MKS Granville Phillips プロセス制御モジュールで、370 真空ゲージ コントローラに単極双投リレーを提供します。このリレーは、(6 つのデジタル設定ポイント) または内蔵の手動オーバーライド スイッチのいずれかで制御できます。このプロセス制御モジュールには、ユーザーが選択できる 6 つのチャネルがあります。最初の 2 つのチャネルはイオン ゲージに割り当てられます。存在する場合、チャネル 3 と 4 は CGA または TCA に割り当てられ、チャネル 5 と 6 は CGB、TCB、または CMB に割り当てられます。
チャンネル 1 を IG1、IG2、またはその両方に割り当てるスイッチが用意されており、チャンネル 2 も同様です。6 つのチャンネルすべてに、設定値より上または下でアクティブにするための極性を選択できます。プロセス制御カード (モジュール) のインストール手順については、取扱説明書 (pdf) の 16 ～ 27 ページを参照してください。仕様と使用手順については、取扱説明書の第 5 章を参照してください。これはプロセス制御カード モジュール (6 つの設定値付き) のみで、MKS Granville Phillips 370 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトで別売りです。 MKS Granville Phillips 370 真空ゲージ コントローラーの取扱説明書 (pdf 形式) は、以下からダウンロードできます。
チャンネル 1 を IG1、IG2、またはその両方に割り当てるスイッチが用意されており、チャンネル 2 も同様です。6 つのチャンネルすべてに、設定値より上または下でアクティブにするための極性を選択できます。プロセス制御カード (モジュール) のインストール手順については、取扱説明書 (pdf) の 16 ～ 27 ページを参照してください。仕様と使用手順については、取扱説明書の第 5 章を参照してください。これはプロセス制御カード モジュール (6 つの設定値付き) のみで、MKS Granville Phillips 370 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトで別売りです。 MKS Granville Phillips 370 真空ゲージ コントローラーの取扱説明書 (pdf 形式) は、以下からダウンロードできます。
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